[实用新型]气体流量标准装置真空气源极限压力控制系统有效

专利信息
申请号: 201621277794.7 申请日: 2016-11-26
公开(公告)号: CN206420537U 公开(公告)日: 2017-08-18
发明(设计)人: 贾文涛;刘辉 申请(专利权)人: 丹东意邦计量仪器仪表有限公司
主分类号: G01F25/00 分类号: G01F25/00
代理公司: 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)21234 代理人: 李晓光
地址: 118009 辽宁省丹*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 气体 流量 标准 装置 空气 极限 压力 控制系统
【权利要求书】:

1.气体流量标准装置真空气源极限压力控制系统,其特征在于:具有气环真空泵组合、空气输气连接管路、缓冲容器、气动流量调节阀、压力变送器以及气动开关阀,其中,气环真空泵组合为气源发生设备,包括1台或多台气环真空泵,各气环真空泵的进气口通过空气输气连接管路与缓冲容器连接,各气环真空泵的出气口通过空气输气连接管路接至排放管路;气动开关阀、压力变送器以及气动流量调节阀设于气环真空泵组合的进气汇管侧。

2.按权利要求1所述的气体流量标准装置真空气源极限压力控制系统,其特征在于:气环真空泵组合包括2~6个气环真空泵,分别由压差△P=300~650mbar和压差△P=300~440mbar的真空泵组合而成,各泵通过进入支管并行连接在进气汇管上。

3.按权利要求2所述的气体流量标准装置真空气源极限压力控制系统,其特征在于:压差△P=300~650mbar的泵检64m3/及以下的小流量喷嘴,压差△P=300~440mba的泵检128m3/及以上的大流量喷嘴。

4.按权利要求1所述的气体流量标准装置真空气源极限压力控制系统,其特征在于:空气输气连接管路包括进气汇管、进气支管以及排气汇管,其中进气汇管、进气支管连接气环真空泵组合进气口至缓冲容器出口端,排气汇管连接气环真空泵组合排气口至排放管路出口端的所有管路。

5.按权利要求1所述的气体流量标准装置真空气源极限压力控制系统,其特征在于:气动开关阀、压力变送器以及气动流量调节阀安装在进气汇管上。

6.按权利要求1所述的气体流量标准装置真空气源极限压力控制系统,其特征在于:还具有旁通补气管路,与进气汇管串联连接。

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