[实用新型]一种多轴膜厚检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种测厚装置，尤其涉及一种多轴膜厚检测装置。

背景技术

当今微电子薄膜，光学薄膜，抗氧化薄膜，巨磁电阻薄膜，高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用，在工业生产的薄膜，其厚度是一个非常重要的参数，直接关系到该薄膜材料能否正常工作。目前的薄膜测量是选用国外已有的测试仪，这种测试仪的原理是：将薄膜放在载物盘上，启动仪器电源，测试下压，在于薄膜接触后产生一定的压力，将薄膜压住，然后再技术或者测量厚度，然后减压抬起测量杆，完成测量。该仪器完存在测量步骤多、测量时耗时过多、测量精度低等不足。

现有技术中，如专利号为201520924773.9，申请日为2015.11.19《一种测厚装置》，该实用新型的上下探头均可以随时拆卸安装，便于更换厚度放射源和检修，测量厚度效果精准，误差小。但是该实用新型结构复杂，操作麻烦，调节功能欠缺，测试效率低，自动化程度欠佳，有待于进一步改进。

发明内容

针对上述现有技术的现状，本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种结构简单、操作方便、调节功能全面、自动化程度高、测试效率高的多轴膜厚检测装置。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种多轴膜厚检测装置，包括底板、框架、固定块、检测模块、夹持组件、调节组件和进给组件，其特征在于：所述底板上固定有框架，所述框架的上方侧面固定有固定块，所述固定块的侧面固定有检测模块；所述进给组件包括横轴板、第一滑轴器、第一滑块、第一气缸、纵轴板、第二气缸、第二滑轴器和第二滑块，所述横轴板固定在底板上，所述横轴板的上方固定有第一滑轴器，所述第一滑轴器的一端连接有第一气缸，所述第一滑轴器的外侧套设有第一滑块；所述第一滑块的上方固定有纵轴板，所述纵轴板的上方固定有第二滑轴器，所述第二滑轴器的一端连接有第二气缸，所述第二滑轴器的外侧套设有第二滑块。

进一步地，所述调节组件包括连接板、第一气压座、第一进气头、第二气压座、三角块、第二进气头、转动座、调节螺钉、转动块、调节圈、第三进气头、第一摆动块、第二摆动块、第三摆动块、第四摆动块、第四进气头和T字型块，所述连接板固定在第二滑块的上方，所述连接板的上方固定有第一气压座，所述第一气压座上成型有第一凸块，所述第一凸块的上方中心开设有矩形沉孔，所述矩形沉孔中设置有三角块。

进一步地，所述第一凸块的外侧成型有矩形块，所述矩形块的上端成型有两个对称分布的第一圆柱；所述第一凸块的侧面还成型有第一管口，所述第一管口中插入有第一进气头。

进一步地，所述第二气压座上成型有第二凸块，所述第二凸块内侧开设有矩形槽，所述第二凸块的上端成型有两个对称分布的第二圆柱；所述第二气压座上还成型有定位柱。

进一步地，所述第二气压座固定在第一气压座的上方，所述第一气压座上的矩形块插入到第二气压座上的矩形槽中。

进一步地，所述第二气压座的上方固定有转动座，所述转动座的侧面成型有长方块，所述长方块的侧面开设有腰型孔；所述长方块的两个端面上分别成型有第二管口和内螺纹柱，所述第二管口中插入有第二进气头，所述内螺纹柱中拧入有调节螺钉。

进一步地，所述转动座的上方中心成型有第一圆形凸边，所述第一圆形凸边的中心开设有圆形沉孔，所述第一圆形凸边的外侧套设有调节圈，所述调节圈的侧面固定有T字型块，所述T字型块的前端成型有销柱，所述销柱插入在腰型孔中；所述调节圈的上方固定有转动块，所述转动块的下方成型有第二圆形凸边，所述第二圆形凸边插入到转动座上的圆形沉孔中；所述转动块的上方开设有圆孔，所述转动块的侧面成型有长锥销。

进一步地，所述转动块的上方固定有第一摆动块，所述第一摆动块的侧面插入连接有第三进气头；所述第一摆动块的上方成型有圆弧形块，所述第二摆动块的下方成型有圆弧形槽，所述圆弧形块和圆弧形槽相互配合且截面均呈梯形；所述第一摆动块的上方固定有第二摆动块，所述第二摆动块的上方固定有第三摆动块，所述第三摆动块的上方固定有第四摆动块；所述第三摆动块的侧面插入连接有第四进气头。

进一步地，所述夹持组件包括平台、夹紧座、顶紧柱、弹簧和压紧块，所述平台固定在第四摆动块的上方，所述平台的上平面转角处固定有夹紧座，所述夹紧座中插入并连接有顶紧柱，所述顶紧柱外套设有弹簧；所述弹簧位于夹紧座与顶紧柱之间；所述顶紧柱的前端固定有压紧块，所述压紧块的前侧开设有三角形槽。

进一步地，所述平台的相邻两条边缘上成型有挡边。