[实用新型]一种石墨烯生长炉

说明书

技术领域

本实用新型属于石墨烯技术领域，涉及一种石墨烯生长炉，尤其涉及石墨烯制备管式炉。

背景技术

石墨烯是一种由碳原子构成的单层片状结构的新材料，是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的平面薄膜，是只有一个碳原子厚度的二维材料。由于石墨烯特殊的化学结构使其在力学、热学、光学、电学等方面具有十分优异的性质，这也使得它在显示、能源、探测及光电子等领域具有广泛的应用前景，石墨烯的应用开发也将给众多研究领域带来革命性转移。

现在市场上多采用高温炉和真空石英这类制备石墨烯的设备，石墨烯生长完成后，热场无法完全离开真空石英腔，设备也未设冷却装置，无法实现石墨烯材料生长后的快速冷却。而且真空石英腔两端固定，炉体无法移出石英腔体，不能实现石墨烯材料的连续生长。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种石墨烯生长炉，旨在解决现有石墨烯生长炉设备上存在的问题和不足。

本实用新型所采用的技术方案是：

一种石墨烯生长炉，包括：抽气口、水冷式法兰、外凸起密封环、内法兰、内凸起密封环、半圆形垫块、外层石英管双密封环、右管道密封支架、外层石英管、内层石英管、加热炉内壁、加热炉上盖、温度控制器、左管道密封支架、排气孔、流量计、滑轨式管式炉、水冷装置箱、真空箱、旋片式真空泵、外壁凹形密封槽、螺丝孔、内孔、凹形槽、石墨烯生长炉本体和滑动轨，所述石墨烯生长炉本体的下部为柜体式设计，且在柜休上设置有水冷装置箱与流量计及真空箱，并在真空箱的内安装有旋片式真空泵，所述石墨烯生长炉本体的上部中间部位及水冷装置箱顶部设置有滑轨式管式炉，且滑轨式管式炉安装在滑动轨之上，所述滑动轨的两端设置有右管道密封支架与左管道密封支架，所述左管道密封支架的左端的密封装置上设置有排气孔，所述右管道密封支架的右端设置内法兰与水冷式法兰及抽气口，所述右管道密封支架与左管道密封支架内侧之间设置有滑轨式管式炉，且右管道密封支架与左管道密封支架及滑轨式管式炉的中心点处于平行位置，所述右管道密封支架与左管道密封支架及滑轨式管式炉中心位置安装有外层石英管，且在外层石英管内孔中安装有内层石英管。

优选的，所述滑轨式管式炉上设置有温度控制器与加热炉上盖，且加热炉上盖上设置有半圆形加热炉内壁。

优选的，所述滑轨式管式炉为上下分离式箱形设计，通过加热炉上盖与下部滑轨式管式炉的闭合，使半圆形加热炉内壁与下部滑轨式管式炉内的内壁组合呈360度圆形通孔。

优选的，所述外层石英管与内层石英管的左端与左管道密封支架右端相连接，外层石英管通过旋接扣合装置与左管道密封支架相连接，且外层石英管的外壁由滑轨式管式炉的圆形通孔中通过。

优选的，所述左管道密封支架通过右端安装的环形密封件与内层石英管相连接。

优选的，所述右管道密封支架与内孔之间的外壁上，设置有外壁凹形密封槽与凹形槽，且右管道密封支架的右端面上设置有连接内法兰的螺丝孔。

优选的，所述内层石英管通过半圆形垫块与外层石英管的内孔相连接，且外层石英管通过外层石英管双密封环与右管道密封支架的内孔相连接。

本实用新型的有益效果是：

经过改进后本发明可实现快速升温和快速冷却的一体化及自动化，解决了石墨烯材料高温处理后的快速冷却问题，并采用一端固定密封装置，能实现快速安装，缩短石墨烯材料的加工过程时间。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的右管道密封支架结构示意图。

图中，1、抽气口；2、水冷式法兰；3、外凸起密封环；4、内法兰；5、内凸起密封环；6、半圆形垫块；7、外层石英管双密封环；8、右管道密封支架；9、外层石英管；10、内层石英管；11、加热炉内壁；12、加热炉上盖；13、温度控制器；14、左管道密封支架；15、排气孔；16、流量计；17、滑轨式管式炉；18、水冷装置箱；19、真空箱；20、旋片式真空泵；21、外壁凹形密封槽；22、螺丝孔；23、内孔；24、凹形槽；25、石墨烯生长炉本体；26、滑动轨。

具体实施方式

下面结合附图1-2和具体实施方式对本实用新型进行详细说明：