[实用新型]光刻机设备系统及光刻机远程监控系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其是涉及一种光刻机设备系统及光刻机远程监控系统。

背景技术

光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体平台、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等。

随着科技的不断发展，直写式光刻机(LDI)因其高精度高效率而逐步投入到印制电路板行业，因此保证光刻机的设备运行状态正常具有重要的意义。

现有光刻机无法实现运行状态监测，而且，常常是当设备出现问题时才能知道设备状态运行不正常，或是由技术人员定期检查设备状态，不仅浪费人力物力，而且无法实时了解设备的运作情况。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种光刻机设备系统及光刻机远程监控系统，以解决现有技术的光刻机无法实现运行状态监测的技术问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种光刻机设备系统，包括光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块，还包括：信号采集模块和显示模块，其中，

所述光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块分别与所述信号采集模块相连接，所述信号采集模块与显示模块相连接。

光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块与信号采集模块相连接，信号采集模块直接采集光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块的状态参数，并将状态参数显示在与之相连接的显示模块上，从而可以直观地监测光刻机各个模块的运行状态，实现了实时、直观的监测光刻机设备的运行状况。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，所述光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块分别通过传感器与信号采集模块相连接。

光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块的下方均设置有相应的传感器，传感器将相应参数转化为电信号传递给信号采集模块。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，所述信号采集模块包括信号调理器和模数转换器，其中，

所述信号调理器对所述传感器采集的信号进行放大、滤波调理，输出模拟信号；

所述模数转换器将所述模拟信号转换为数字信号。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，还包括信号比较模块和报警模块，其中，

所述信号采集模块与所述信号比较模块相连接，所述信号比较模块与所述报警模块相连接。

信号比较模块可以将采集到的信号与预设参数进行比较，超出预设范围值时，通过与之相连接的报警模块发出警报，提醒相关人员设备故障，方便及时维修。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，所述光源模块为激光器。

随着科技的不断发展，激光直写式光刻机(LDI)因其高精度高效率而逐步投入到印制电路板行业，激光器作为光源的应用更加广泛，越来越多的投入到光刻机的生产应用中。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种光刻机远程监控系统，包括信号接收模块以及第一方面及其可能的实施方式所述的光刻机设备系统，其中，

所述光刻机设备系统中的信号采集模块与所述信号接收模块通信连接。

为了进一步的实时监测光刻机设备的状态，在特殊情况下，例如当人员离开时，设备断电运行或者运输过程中，对设备进行监测，本实施例提供了一种光刻机远程监控系统可以实现远程监控光刻机设备，时刻监测设备的运行状态。

结合第二方面，本实用新型实施例提供了第二方面的第一种可能的实施方式，其中，所述光刻机设备系统还包括信号加密模块，其中，

所述信号加密模块与所述信号采集模块相连接。

信号加密模块对采集的数据信号进行加密，保证了数据的安全性。

结合第二方面的第一种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第二方面的第二种可能的实施方式，其中，所述信号接收模块还包括信号解密模块。

信号解密模块将加密的数据解密解析。

结合第二方面的第二种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第二方面的第三种可能的实施方式，其中，所述信号加密模块为数据编码器，所述信号解密模块为数据解码器。

结合第二方面，本实用新型实施例提供了第二方面的第四种可能的实施方式，其中，所述信号采集模块与所述信号接收模块通过无线通信相连接。