[实用新型]防尘镜头、物镜及LDI光刻机防尘镜有效
| 申请号： | 201621282432.7 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN206292529U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 姜浩斌 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 马维丽 |
| 地址： | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防尘 镜头 物镜 ldi 光刻 | ||
【权利要求书】：
1.一种防尘镜头，其特征在于，包括：镜筒、镜片和密封圈；
所述镜片和所述密封圈装配在所述镜筒的内部；
所述密封圈位于所述镜筒内部的底层；
所述镜片位于所述密封圈的上层；
所述密封圈固定所述镜片。
2.根据权利要求1所述的防尘镜头，其特征在于，所述镜筒的内部设有镜片凹槽。
3.根据权利要求1所述的防尘镜头，其特征在于，所述镜筒的内部设有与所述密封圈配套的密封内螺纹。
4.根据权利要求1所述的防尘镜头，其特征在于，所述镜片为平板玻璃片。
5.根据权利要求1所述的防尘镜头，其特征在于，所述镜筒上端配有内螺纹。
6.一种防尘物镜，其特征在于，包括物镜镜筒和如权利要求1至5任一项所述的防尘镜头；
所述防尘镜头的镜筒与所述物镜镜筒连接。
7.根据权利要求6所述的防尘物镜，其特征在于，所述物镜镜筒下端配有外螺纹。
8.根据权利要求6所述的防尘物镜，其特征在于，所述物镜镜筒的内部装配有透镜组。
9.一种LDI光刻机防尘镜，其特征在于，包括成像镜筒和如权利要求6至8任一项所述的防尘物镜。
10.根据权利要求9所述的防尘镜，其特征在于，所述成像镜筒的下端配有紧固装置。
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