[实用新型]一种半导体闭管扩散用真空设备

权利要求书

1.一种半导体闭管扩散用真空设备，其特征在于，所述真空设备包括：工位接口(1)、放气阀(2)、第一电阻规(3)、旁抽阀(4)、主抽阀(5)、电离规(6)、分子泵(7)、第二电阻规(8)、前级阀(9)和机械泵(10)，

所述工位接口(1)通过旁路连接所述机械泵(10)；所述工位接口(1)还通过主路串联所述分子泵(7)后连接到所述机械泵(10)；

位于所述旁路上，在所述工位接口(1)与所述机械泵(10)之间串联有所述放气阀(2)、所述第一电阻规(3)、所述旁抽阀(4)；

位于所述主路上，在所述工位接口(1)与所述机械泵(10)之间串联有所述主抽阀(5)、所述电离规(6)、所述分子泵(7)、所述第二电阻规(8)和所述前级阀(9)。

2.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述放气阀(2)、旁抽阀(4)、主抽阀(5)和前级阀(9)为电磁阀或者机械阀。

3.根据权利要求2所述的真空设备，其特征在于，所述真空设备还包括工位传感器(111)和比较器(101)，

所述工位传感器(111)、放气阀(2)、第一电阻规(3)、旁抽阀(4)、主抽阀(5)、电离规(6)、分子泵(7)、第二电阻规(8)、前级阀(9)和机械泵(10)，连接所述比较器(101)；

其中，工位传感器(111)、第一电阻规(3)、电离规(6)和第二电阻规(8)，连接所述比较器(101)的输入端；

所述放气阀(2)、旁抽阀(4)、主抽阀(5)、分子泵(7)、前级阀(9)和机械泵(10)，连接所述比较器(101)的输出端。

4.根据权利要求3所述的真空设备，其特征在于，所述比较器(101)为比较器集成芯片LM339，所述LM339包括比较器1、比较器2、比较器3和比较器4，则放气阀(2)和工位传感器(111)信号进行逻辑与之后连接比较器1的正向输入端，比较器1的输出端连接机械泵(10)和旁抽阀(4)，用于在放气阀(2)关闭且工位传感器(111)检测到有石英管时，控制所述机械泵(10)和旁抽阀(4)的打开；

第一电阻规(3)连接比较器2的反向输入端，比较器2的输出端连接旁抽阀(4)和前级阀(9)，用于在第一电阻规(3)检测值小于0.1Pa时，控制所述旁抽阀(4)的关闭和前级阀(9)的打开；

第二电阻规(8)连接比较器3的反向输入端，比较器3的输出端连接分子泵(7)和主抽阀(5)，用于在第二电阻规(8)检测值小于1Pa时，控制所述分子泵(7)打开和主抽阀(5)打开；

主抽阀(5)连接比较器4的正向输入端，比较器4的输出端连接分子泵(7)，用于在主抽阀(5)关闭时，关闭所述分子泵(7)。

5.根据权利要求1-4任一所述的真空设备，其特征在于，所述主路上位于所述分子泵(7)的入口前设置有过滤网，所述过滤网密度小于1um。