[实用新型]用于排出液态材料中气泡的排气系统及其缓冲存储装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及高黏度液态材料气泡排除的技术领域，特别涉及一种用于排出液态材料中气泡的排气系统及其缓冲存储装置。

背景技术

在工业领域尤其是半导体制造领域，经常用到各种化学品，部分化学品(例如光刻胶)有很高的黏度，一旦气泡进入很难排除，而这些气泡又会影响产品质量，因此其内部的气泡必须去除掉。

现有技术中常用的去除气泡的方法一般包括物理方法和化学方法，其中，物理方法包括离心法、搅拌法、加热法以及超声波去除法等，而化学方法包括添加消泡剂等化学试剂。

现有技术的常用方法中，物理方法一般设备比较复杂，而化学方法则会对待去除气泡的液体造成污染。因此，现有技术中还没有一种结构简单、容易操作且不会对待去除气泡的液体造成污染的设备。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于排出液态材料中气泡的排气系统及其缓冲存储装置，能够解决现有技术中去除液体中气泡时存在的设备复杂以及容易对待去除气泡的液体造成污染的技术问题。

为解决上述问题，本实用新型提供一种用于排出液态材料中气泡的缓冲存储装置，所述存储装置包括储液箱、液体输入管路、液体输出管路以及排泡管路；其中，所述液体输入管路与所述储液箱的顶部连通，用于输入液态材料；所述液体输出管路与所述储液箱的底部连通，用于将排泡后的液态材料输出；所述排泡管路与所述储液箱的顶部连通，用于将从所述储液箱内液态材料中溢出的气泡排出所述储液箱。

根据本实用新型一优选实施例，所述储液箱为椎体结构，顶部为椎体大端，底部为椎体小端。

根据本实用新型一优选实施例，所述存储装置还包括负压管路，所述负压管路与所述储液箱的顶部连通，用于在所述储液箱内产生负压，进而加快液态材料中气泡的溢出速度。

根据本实用新型一优选实施例，所述负压管路和所述排泡管路通过同一个接口与所述储液箱的顶部连通，且所述负压管路和所述排泡管路上分别设有阀门，以分别控制所述负压管路和所述排泡管路的开启和关闭。

根据本实用新型一优选实施例，所述负压管路与负压发生设备连接。

为解决上述技术问题，本实用新型还提供一种用于液态材料的排气系统，所述排气系统包括存储装置以及负压发生设备，所述存储装置包括储液箱、液体输入管路、液体输出管路、负压管路以及排泡管路；其中，所述液体输入管路与所述储液箱的顶部连通，用于输入液态材料；所述液体输出管路与所述储液箱的底部连通，用于将排泡后的液态材料输出；所述排泡管路与所述储液箱的顶部连通，用于将从所述储液箱内液态材料中溢出的气泡排出所述储液箱，所述负压管路与所述储液箱的顶部连通，用于在所述储液箱内产生负压，进而加快液态材料中气泡的溢出速度。

根据本实用新型一优选实施例，所述储液箱为椎体结构，顶部为椎体大端，底部为椎体小端。

根据本实用新型一优选实施例，所述负压管路和所述排泡管路通过同一个接口与所述储液箱的顶部连通，且所述负压管路和所述排泡管路上分别设有阀门，以分别控制所述负压管路和所述排泡管路的开启和关闭。

根据本实用新型一优选实施例，所述负压管路和所述排泡管路上的阀门交替开启和关闭，即所述负压管路上的阀门开启时所述排泡管路上的阀门关闭，所述排泡管路上的阀门开启时所述负压管路上的阀门关闭。

根据本实用新型一优选实施例，所述储液箱为圆锥体结构。

相对于现有技术，本实用新型提供的用于排出液态材料中气泡的排气系统及其缓冲存储装置，该存储装置的结构简单，操作方便，通过设置椎体状的储液箱结构，可较快地改善、去除高黏度液态材料使用过程中产生的气泡。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型用于排出液态材料中气泡的缓冲存储装置一优选实施例的结构示意图；

图2是液态材料进入到储液箱的状态示意图；

图3是气泡从储液箱排出的状态示意图；以及

图4是液体材料中的气泡在负压作用下溢出液体材料的状态示意图。

具体实施方式