[实用新型]一种硅片表面的绒面的制造装置有效
| 申请号： | 201621296090.4 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN206742251U | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 孙勇 | 申请（专利权）人： | 无锡中硅新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0236 | 分类号： | H01L31/0236;H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 邵骅 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 表面 制造 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：其包括承载硅片的工件电极和位于所述工件电极上方的工具电极，所述工具电极和工件电极连接脉冲电源的导电板；所述工具电极表面上设置有一根或多根电极丝；所述工具电极和工件电极由驱动装置驱动使得所述工具电极和工件电极的表面相对移动。
2.如权利要求1所述的硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：所述工具电极为平板电极，所述平板电极上设置有电极丝阵列。
3.如权利要求2所述的硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：所述电极丝阵列垂直于工件电极表面。
4.如权利要求1所述的硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：所述工具电极为导电辊，所述导电辊表面径向设置有电极丝阵列。
5.如权利要求1-4任一项所述的硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：所述驱动装置还用于驱动所述工件电极上下移动，调整所述工具电极和工件电极之间的距离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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