[实用新型]基板翻转装置及包括其的化学机械研磨系统

权利要求书

1.一种基板翻转装置，其用于化学机械研磨工艺，其特征在于，包括：

基板夹紧部，其支撑基板的侧面并使得所述基板翻转旋转；

多个可动夹紧部，其与所述基板的侧面相接触，并设置为能够与所述基板夹紧部的内面靠近及隔开；

多个感知部，其个别地感知相对于所述基板夹紧部的所述可动夹紧部的靠近。

2.根据权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述可动夹紧部设置为可向第一位置和第二位置移动，所述第一位置与所述基板夹紧部的内面靠近，所述第二位置从所述基板夹紧部的内面隔开，

如果所述可动夹紧部通过所述基板向所述第一位置移动，则所述感知部对所述可动夹紧部的靠近进行感知。

3.根据权利要求2所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述可动夹紧部在所述第一位置与所述感知部相接触。

4.根据权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于，

如果在所述多个感知部中同时对相对于所述基板夹紧部的所述可动夹紧部的靠近进行感知，则识别为所述基板被正常地夹紧在所述基板夹紧部。

5.根据权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于，

在所述基板夹紧部沿着所述基板的半径方向形成有引导槽，

在所述可动夹紧部形成有引导凸起，所述引导凸起沿着所述引导槽进行直线移动。

6.根据权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述可动夹紧部相对于所述基板夹紧部弹性地靠近及隔开。

7.根据权利要求6所述的基板翻转装置，其特征在于，

弹簧部件插入于所述可动夹紧部和所述基板夹紧部之间。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的基板翻转装置，其特征在于，所述基板夹紧部包括：

第一夹紧部件；

第二夹紧部件，其与所述第一夹紧部件相面对，并且设置为可沿着与所述第一夹紧部件靠近及隔开的方向进行直线移动，

所述可动夹紧部设置为能够在相同的平面上分别与所述第一夹紧部件和所述第二夹紧部件的内面靠近及隔开。

9.根据权利要求8所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述可动夹紧部沿着所述基板的圆周方向以间隔的形式配置，并且以相互对称的形式分别配置于所述第一夹紧部件和所述第二夹紧部件的内面。

10.根据权利要求1至7中任意一项所述的基板翻转装置，其特征在于，还包括：

研磨面支撑部，其与所述基板夹紧部相连接并对所述基板的研磨面进行支撑。

11.根据权利要求1至7中任意一项所述的基板翻转装置，其特征在于，还包括：

非研磨面支撑部，其与所述基板夹紧部相连接并对所述基板的非研磨面进行支撑。

12.一种化学机械研磨系统，其特征在于，包括：

研磨部，其对基板进行化学机械研磨工艺；

夹紧组件，其包括基板夹紧部、多个可动夹紧部、多个感知部，所述基板夹紧部设置于所述研磨部的区域并对基板的侧面进行支撑，所述多个可动夹紧部与所述基板的侧面相接触，并设置为能够与所述基板夹紧部的内面靠近及隔开，所述多个感知部个别地对相对于所述基板夹紧部的所述可动夹紧部的靠近进行感知；

控制部，如果在所述多个感知部同时对相对于所述基板夹紧部的所述可动夹紧部的靠近进行感知，则以所述夹紧组件使得所述基板翻转旋转的形式进行控制。

13.根据权利要求12所述的化学机械研磨系统，其特征在于，

所述夹紧组件设置于卸载区域，在所述研磨部中所述基板卸载于卸载区域。

14.根据权利要求12所述的化学机械研磨系统，其特征在于，

所述可动夹紧部设置为可向第一位置和第二位置进行移动，所述第一位置与所述基板夹紧部的内面靠近，所述第二位置从所述基板夹紧部的内面隔开，

如果所述可动夹紧部通过所述基板向所述第一位置移动，则所述感知部对所述可动夹紧部的靠近进行感知，

如果在所述多个感知部中同时对相对于所述基板夹紧部的所述可动夹紧部的靠近进行感知，则识别为所述基板被正常地夹紧在所述基板夹紧部。