[实用新型]一种硅片翻面装置

权利要求书

1.一种硅片翻面装置，包括传送带、转运装置和双传送带，其特征在于：所述传送带一侧设有转运装置，所述传送装置顶部设有双传送带，所述转运装置由抽风管、吸盘、转轴、支架和抽风机组成，所述吸盘通过抽风管连接转轴，所述转轴安装在位于支架顶部一侧的座头上，所述支架内部设有连接位于支架底部的抽风机和抽风管的风管,所述双传送带之间设有供转运装置旋转的间隙。

2.根据权利要求1所述的一种硅片翻面装置，其特征在于，所述吸盘与传送带之间的距离不小于硅片的高度。

3.根据权利要求1所述的一种硅片翻面装置，其特征在于，所述转轴内部中空，其表面设有与抽风管连接的风孔。

4.根据权利要求1所述的一种硅片翻面装置，其特征在于，所述风管通过转轴连接抽风管。

5.根据权利要求1所述的一种硅片翻面装置，其特征在于，所述双传送带与传送带之间的距离不大于同一轴线上的相对两个吸盘之间的距离。

6.根据权利要求1所述的一种硅片翻面装置，其特征在于，所述双传送带之间的间隙小于硅片的宽度。