[实用新型]一种基于数字全息扫描的三维形貌测量装置

权利要求书

1.一种基于数字全息扫描的三维形貌测量装置，包括一个移动测量装置和数字全息检测模块，其特征在于，所述数字全息检测模块装配在一个移动测量装置上，所述数字全息检测模块上设有测量待测工件平面到CCD/CMOS图像传感器窗口平面的距离的激光测距仪，通过激光测距仪的记录距离得到CCD/CMOS图像传感器上物光波和参考光波的干涉强度信息；实现数字全息检测模块在移动测量装置的带动下对大型待测工件表面区域进行测量。

2.根据权利要求1所述的一种基于数字全息扫描的三维形貌测量装置，其特征在于，所述数字全息检测模块包括一激光器，激光器出射激光束面上设有一块半透半反棱镜，在半透半反棱镜和激光器之间设置有空间滤波器；在所述半透半反棱镜半透射方向设置有一块波长选择分光棱镜，激光测距仪设在波长选择分光棱镜上方；在所述半透半反棱镜上方设有一CCD/CMOS光电耦合器，在所述半透半反棱镜下方设有一平面反射镜，波长选择分光棱镜的反射光路上设有待测工件。

3.根据权利要求1所述的一种基于数字全息扫描的三维形貌测量装置，其特征在于，所述移动测量装置为龙门三坐标或六自由度机械臂。

4.根据权利要求1所述的一种基于数字全息扫描的三维形貌测量装置，其特征在于，所述移动测量装置与计算机控制系统相连。

5.根据权利要求2所述的一种基于数字全息扫描的三维形貌测量装置，其特征在于，所述波长选择分光棱镜镀有一层选择性透反射膜。

6.根据权利要求2所述的一种基于数字全息扫描的三维形貌测量装置，其特征在于，所述空间滤波器包括显微物镜和设在显微物镜上的针孔，空间滤波器的出射光路上设有一个准直镜头。