[实用新型]一种激光功率实时监控的闭环控制装置

权利要求书

1.一种激光功率实时监控的闭环控制装置，其特征在于：包括在待监测激光光束的光路上依次设置的电动衰减器(1)和取样镜片(2)，所述激光光束与所述取样镜片(2)之间形成角度为α的第一入射角，0°≤α＜90°，所述激光光束经所述取样镜片(2)反射到监测器(3)，所述监测器(3)的信号输出端连接控制器(4)的信号输入端，所述控制器(4)的信号输出端连接所述电动衰减器(1)的控制端。

2.根据权利要求1所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置，其特征在于：所述监测器(3)包括功率探测器、光电传感器、能量计和光束质量分析仪。

3.根据权利要求1所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置，其特征在于：所述取样镜片(2)面对所述激光光束入射方向的一侧为第一面，所述取样镜片(2)面对所述激光光束出射方向的一侧为第二面；所述第一面镀有部分反射膜，所述第二面镀有激光抗反射增透膜。

4.根据权利要求3所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置，其特征在于：所述部分反射膜的反射率为0-10％。

5.根据权利要求3所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置，其特征在于：所述部分反射膜包括单波长膜和宽带膜，所述单波长膜包括的波长包括355nm、532nm和1064nm。

6.根据权利要求3所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置，其特征在于：还包括指示器(5)，所述指示器(5)发出指示光束到所述取样镜片(2)的所述第二面，经所述第二面反射。

7.根据权利要求6所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置，其特征在于：所述指示光束从所述第二面入射时的入射角为第二入射角，所述第二入射角的角度与所述第一入射角的角度相同。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种激光功率实时监控的闭环控制装置，其特征在于：所述第一入射角的角度优选15°。