[实用新型]三维线性声表面波马达

说明书

技术领域

本实用新型属于马达领域，具体涉及三维线性声表面波马达。

背景技术

随着现代工业的快速发展，马达的应用范围越来越广，传统的电磁马达虽然转速快、功率高、能量利用率较高，但是其利用转子磁铁与定子线圈间的电磁作用力推动转子转动,容易受到外界电磁的干扰，精度较低。

由于传统电磁马达部分应用弊端的逐渐显现，压电马达进入了人们的视野，压电马达具有定位精度高，低速大转矩，无电磁干扰等特点，但是其控制困难，结构复杂占用空间大因而应用场合受到限制，不利于大规模的生产。

20世纪90年代中期，由Kurosawa等人提出声表面波马达，采用高精度的表面微加工工艺制造的声表面波马达比使用一般制造技术生产的压电马达的具有更高的可靠性和工作效率，并且声表面波马达具有纳米级的定位精度，易于控制,尺寸小,适于小型化。但是目前声表面波马达大多是单一的直线型，旋转型或是二维直线型，三维声表面波马达还没有深入的研究。

鉴于传统马达、压电马达所存在的问题和声表面波马达的研究现状，本实用新型提出了一种空间三维线性运动声表面波马达，利用声表面波驱动滑动器运动，并由滑动器的平面运动带动升降机构上下运动，实现升降机构的三维线性运动。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种三维线性声表面波马达，以解决当前声表面波马达只能实现一维或者二维运动，无法实现三维运动的问题。

本实用新型所述的三维线性声表面波马达，在声表面波基底上制有多对叉指换能器，不同的叉指换能器在电信号作用下激发声表面波从而驱动两个滑动器运动，滑动器在平面内的运动带动升降机构实现X、Y、Z三个方向运动。

本实用新型所述的三维线性声表面波马达，两个滑动器的中间，吸声隔板的两侧至少有两个叉指换能器，且吸声隔板可由橡胶、硅胶及其它具有高弹性吸声效果良好的材料制成。

本实用新型所述的三维线性声表面波马达，基底上的叉指换能器成对设计，对称布置，布置在X向的叉指换能器完全相同，且以吸声隔板为中心呈对称布置，布置在Y向的叉指换能器可以不相同。

本实用新型所述的三维线性声表面波马达，给两对叉指换能器施加电信号激发声表面波驱动两滑动器产生相向或者相离的线性移动，并通过升降机构转换成Z向的上下运动。

本实用新型所述的滑动器，滑动器底面有规则布置的凸起，且在滑动器工作前有预压力作用。

本实用新型所述的滑动器，叉指换能器驱动两个滑动器运动的速度始终是相同的。

附图说明

图1、2为本实用新型正面的等轴测视图。

图3为本实用新型结构爆炸图。

图4为升降板的等轴测视图。

图5为滑块的等轴测视图。

图6为叉指换能器1(101)(102)(103)(104)的主视图。

图7位叉指换能器2(201)(202)(203)(204)的主视图。

具体实施方式

参照图(1-7)本实用新型所述的三维线性声表面波马达由声表面波基底(3)、叉指换能器1(101)(102)(103)(104)2(201)(202)(203)(204)、滑动器4(401)(402)、升降机构7(701)(702)、支撑杆5(501)(502)、升降板(6)、销钉(10)(1001)(1002)(1003)(1004)(1005)(1006)(1007)(1008)(1009)(1010)(1011)(1012)(1013)11(1101)(1102)、滑轨8(801)(802)、吸声隔板(9)、凸起(4010)组成。

本实施例升降机构7(701)(702)及升降板(6)用轻质材料制作重量较轻，因滑动器与基底间施有预压力，升降机构(含升降板)沿X方向的水平分力远小于滑动器与声表面基底之间在X方向的摩擦力，故在叉指换能器不施加电信号时，滑动器能保持静止。

在本实施例所使用的三维线性声表面波马达中，声表面波基底(3)上面制有四对叉指换能器1(101)(102)为一对、(103)(104)为一对、2(201)(204)为一对、(202)(203)为一对。其中1(101)(102)(103)(104)四个叉指换能器完全相同。

在本实施例所使用的三维线性声表面波马达的滑动器方面，滑动器4(401)(402)与声表面波基底的表面接触部分上有多个接触凸起(4010)，接触凸起规则布置在滑动器底面。