[实用新型]一种实现同步对向运动的机械装置有效
申请号: | 201621308387.8 | 申请日: | 2016-11-30 |
公开(公告)号: | CN206282078U | 公开(公告)日: | 2017-06-27 |
发明(设计)人: | 李静;赵峰 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅,李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 实现 同步 运动 机械 装置 | ||
1.一种实现同步对向运动的机械装置,其特征在于,包括底座、设置在所述底座上的同步对向运动输出机构,第一光学元件和第二光学元件上下设置,所述底座环绕所述第一光学元件和所述第二光学元件设置,所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述同步对向运动输出机构,所述同步对向运动输出机构包括相互连接的电机和左右旋丝杠组件,所述第一光学元件和所述第二光学元件分别连接所述左右旋丝杠组件。
2.根据权利要求1所述的实现同步对向运动的机械装置,其特征在于,所述第一光学元件设置在第一固定板上,通过第一固定板连接所述同步对向运动输出机构。
3.根据权利要求1所述的实现同步对向运动的机械装置,其特征在于,所述第二光学元件设置在第二固定板上,通过第二固定板连接所述同步对向运动输出机构。
4.根据权利要求1所述的实现同步对向运动的机械装置,其特征在于,所述左右旋丝杠组件通过联轴器连接所述电机。
5.根据权利要求1所述的实现同步对向运动的机械装置,其特征在于,所述左右旋丝杠组件包括丝杆以及设置在所述丝杆上的左旋螺母和右旋螺母,所述丝杠上设有左旋螺纹和右旋螺纹,所述第一光学元件连接所述左旋螺母,所述左旋螺母与所述左旋螺纹匹配连接,所述第二光学元件连接所述右旋螺母,所述右旋螺母与所述右旋螺纹匹配连接。
6.根据权利要求5所述的实现同步对向运动的机械装置,其特征在于,所述第一光学元件与所述左旋螺母之间通过左连接机构连接,所述左连接机构包括左连接导轨和左连接支架,所述左连接导轨平行所述丝杆设置在所述底座上,所述左连接支架设置在所述左连接导轨的滑块上,且所述左连接支架一端连接所述左旋螺母,另一端连接所述第一光学元件;
所述第二光学元件与所述右旋螺母之间通过右连接机构连接,所述右连接机构包括右连接导轨和右连接支架,所述右连接导轨平行所述丝杆设置在所述底座上,所述右连接支架设置在所述右连接导轨的滑块上,且所述右连接支架一端连接所述右旋螺母,另一端连接所述第二光学元件。
7.根据权利要求5所述的实现同步对向运动的机械装置,其特征在于,所述实现同步对向运动的机械装置还包括多个第一支撑机构和多个第二支撑机构,所述多个第一支撑机构设置在所述底座上并连接所述第一光学元件,所述多个第二支撑机构设置在所述底座上并连接所述第二光学元件。
8.根据权利要求7所述的实现同步对向运动的机械装置,其特征在于,每个第一支撑机构均包括第一支撑导轨和第一支撑支架,所述第一支撑导轨平行所述左右旋丝杠组件设置,所述第一支撑支架设置在所述第一支撑导轨的滑块上并连接所述第一光学元件;
每个第二支撑机构均包括第二支撑导轨和第二支撑支架,所述第二支撑导轨平行所述左右旋丝杠组件设置,所述第二支撑支架设置在所述第二支撑导轨的滑块上并连接所述第二光学元件。
9.根据权利要求8所述的实现同步对向运动的机械装置,其特征在于,所述第一光学元件与所述左旋螺母之间通过左连接支架连接,所述左连接支架连接多个所述第一支撑支架中与其位置相对应的第一支撑支架;所述第二光学元件与所述右旋螺母之间通过右连接支架连接,所述右连接支架连接多个所述第二支撑支架中与其位置相对应的第二支撑支架。
10.根据权利要求7所述的实现同步对向运动的机械装置,其特征在于,所述多个第一支撑机构的数量优选四个,均匀分布在所述第一光学元件两侧;所述多个第二支撑机构的数量优选四个,均匀分布在所述第二光学元件两侧。
11.根据权利要求5所述的实现同步对向运动的机械装置,其特征在于,所述同步对向运动输出机构还包括第一丝杠支撑座和第二丝杠支撑座,所述第一丝杠支撑座和第二丝杠支撑座固定在所述底座上,所述丝杠一端连接所述第一丝杠支撑座,另一端穿过所述第二丝杠支撑座后与所述电机连接。
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