[实用新型]一种在基材表面制作CD纹的加工系统

权利要求书

1.一种在基材表面制作CD纹的加工系统，其特征在于，所述加工系统包括：

一旋涂式匀胶机(100)，形状为一台式，其包括：

设置于台面左侧的一个涂胶腔室(102)，设置于台面右侧的第一热板单元(103b)，设置于台面中部的第一操控台，第一操控台上设有第一LCD显示屏(104)，所述涂胶腔室(102)内部设有一旋涂单元(103a)；

一接近式光刻机(200)，形状为一台式，其包括：

设置于台面右侧的控制单元，设置于台面左侧的基材放置单元，设置于台面下方的汞灯调节单元；控制单元上表面左侧设置一套刻对位CCD显示屏(202)，右侧设置一光照单元；

一显影机(300)，形状为一台式，其包括：

设置于台面左侧的一个显影腔室(302)，设置于台面右侧的第二热板单元(303)，设置于台面中部的第二操控台，设置于台面下方的显影液储液桶(306)和热板温度控制器(308)。

2.根据权利要求1所述的一种在基材表面制作CD纹的加工系统，其特征在于，所述第一操控台还包括编程控制按键三(101)、涂胶制程开始按键(105)、热板制程开始按键二(106)，所述热板制程开始按键二(106)与热板单元(103b)电连接。

3.根据权利要求1所述的一种在基材表面制作CD纹的加工系统，其特征在于所述控制单元还包括：

第二LCD显示屏(201)，设置于套刻对位CCD显示屏(202)的下方；

第一编程控制按键(203)，设置于第二LCD显示屏(201)的下方；

气压调节旋钮(204)，设置于第一编程控制按键(203)的右侧；

汞灯电流表(212)、气压空气计(214)、真空计(215)，设置于气压调节旋钮的上方，所述汞灯电流表(212)，气压空气计(214)，真空计(215)一端伸入遮光罩(208)内。

4.根据权利要求1所述的一种在基材表面制作CD纹的加工系统，其特征在于所述光照单元右侧表面由上至下依次设有排风(210)，汞灯更换窗口(211)，光照均匀性调节旋钮(213)，所述排风(210)，汞灯更换窗口(211)，光照均匀性调节旋钮(213)一端伸入遮光罩(208)内。

5.根据权利要求1所述的一种在基材表面制作CD纹的加工系统，其特征在于所述基材放置单元由上至下依次设有紧急停止按钮(216)，遮光罩(208)，载物台(209)。

6.根据权利要求1所述的一种在基材表面制作CD纹的加工系统，其特征在于所述汞灯调节单元由上至下依次设有汞灯控制器(206)，汞灯电源(207)，调节阀(205)。

7.根据权利要求1所述的一种在基材表面制作CD纹的加工系统，其特征在于所述第二操控台上设有指示灯(301)、第三LCD显示屏(304)、第二编程控制按键(305)、显影制程开始按键(307)，第一热板制程开始按键(309)，所述第三LCD显示屏(304)、第二编程控制按键(305)及显影制程开始按键(307)的一端分别伸入显影腔室(302)内侧，另一端分别与所述第三LCD显示屏(304)电连接，所述指示灯(301)与第三LCD显示屏(304)电连接。