[实用新型]一种镀膜机载料装置有效
申请号: | 201621311811.4 | 申请日: | 2016-12-02 |
公开(公告)号: | CN206570399U | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 金传千 | 申请(专利权)人: | 苏州市联超光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215500 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 机载 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及镀膜机辅助设备领域,尤其涉及镀膜机载料装置。
背景技术
现有的真空离子镀膜机主要利用电子枪将坩埚内的蒸镀材料进行加热,并将蒸镀材料蒸发到光学元件表面形成光学膜,使用时,需要将光学元件放置于载料装置上,现有的载料装置一般只有光学元件的位置,当需要检测镀膜性能时,需要对光学元件进行测试,造成浪费,并且现有的载料装置中,对光学元件的固定效果差,并且要将光学元件取下时必须使用工具,不易操作。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提出了一种镀膜机载料装置,包括环形底座,所述环形底座上设有向上凸起的弧形载料盖,所述弧形载料盖顶部中心设有固定孔;所述固定孔周围设有若干组环形设置的载料位;每组载料位之间设有测试片放置位;所述载料位和所述测试片放置位上设有载料治具;所述载料治具包括承载板,所述承载板下部设有定位块,所述定位块和所述承载板中心设有镀膜空位,所述定位块两侧的承载板下部设有第一弹簧,所述第一弹簧下部连接有限定块;所述限定块对应所述定位块上设有定位孔,所述定位孔内设有销杆,所述销杆一端伸出所述定位块并指向所述限定块,另一端设有第二弹簧。
优选的,所述承载板上设有载料槽,所述内陷槽边缘上设有球形内陷位,所述球形内陷位底部设有树脂材料。
优选的,所述定位块和所述限定块底部设有聚四氟乙烯层。
本实用新型提出的镀膜机载料装置有以下有益效果:本镀膜机载料装置上设有测试片放置位,能够便于测试片镀膜便于检测;同时,放置光学元件的载料装置安装稳定,并且取料便捷,提高工作效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实用新型的俯视图;
图2为本实用新型的侧面示意图;
图3为本实用新型的载料治具的侧面剖视图;
图4为本实用新型的球形内陷位的示意图;
其中,1-环形底座,2-弧形载料盖,3-固定孔,4-载料位,5-测试片放置位,6-承载板,7-定位块,8-镀膜空位,9-第一弹簧,10-限定块,11-定位孔,12-销杆,13-第二弹簧,14-载料槽,15-球形内陷位,16-树脂材料,17-聚四氟乙烯层。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1、图2、图3所示,本实用新型提出了一种镀膜机载料装置,包括环形底座1,所述环形底座1上设有向上凸起的弧形载料盖2,所述弧形载料盖2顶部中心设有固定孔3;所述固定孔3周围设有若干组环形设置的载料位4;每组载料位4之间设有测试片放置位5;所述载料位4和所述测试片放置位5上设有载料治具;本实用新型的工作方式是:将光学元件放置于载料治具的承载板6上,将载料治具插于载料位4上,再通过设备送入镀膜机内;
其中,所述载料治具包括承载板6,所述承载板6下部设有定位块7,所述定位块7和所述承载板6中心设有镀膜空位8,所述定位块7两侧的承载板6下部设有第一弹簧9,所述第一弹簧9下部连接有限定块10;所述限定块10对应所述定位块7上设有定位孔3,所述定位孔3内设有销杆12,所述销杆12一端伸出所述定位块7并指向所述限定块10,另一端设有第二弹簧13,载料治具下部的定位块7插于载料位4内,由于第一弹簧9的作用,按压载料治具后,第一弹簧9被压缩,第一弹簧9下部的限定块10位移与定位孔3分离,定位孔3内的销杆12受到第二弹簧13的弹力弹出,将整个治具锁定在载料位4上,保证了治具的稳定性,搬运过程中光学元件不会掉落,当需要拆卸时,只需将销杆12压缩,收回定位孔3内,向上推动整个载料治具即可下料,使用拆装便捷;
如图4所示,为了保证光学元件在载料板上稳定,所述承载板6上设有载料槽14,所述内陷槽边缘上设有球形内陷位15,所述球形内陷位15底部设有树脂材料16,光学元件的边缘置于球形内陷位15内,同时树脂材料16与光学元件贴合面,能够对光学元件有吸附作用。
上述安装后进行镀膜,镀膜材料从镀膜空位8镀在光学元件上,同时载料治具的下部都会有镀膜材料,所述在所述定位块7和所述限定块10底部设有聚四氟乙烯层17,可便于治具的清洗。
对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
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