[实用新型]一种真空计动态对比校准装置

权利要求书

1.一种真空计动态对比校准装置，包括真空测量系统和控制系统；所述真空测量系统包括真空校准室(2)、微调平衡器(1)、真空泵(7)、标准真空传感器(3)；真空校准室(2)上端设置微调气体入口，赤道位置设置被校准真空计(10)接口和标准真空传感器(3)接口，下端设置抽真空排气出口并与真空泵(7)连接；所述控制系统包括控制箱(5)、控制电缆(6)；控制电缆(6)分别与真空测量系统的真空泵(7)、微调平衡器(1)、标准真空传感器(3)连接；微调平衡器(1)一端与大气连通，另一端经汇流管(14)与真空校准室(2)相连，被校准真空计(10)通过真空阀b(9)与真空校准室(2)相连，标准真空传感器(3)通过专用真空阀c(4)与真空校准室(2)相连，真空泵(7)通过真空阀a(8)与真空校准室(2)连接。

2.根据权利要求1所述的校准装置，其特征在于微调平衡器(1)内的三组毛细管和电磁阀组分别与控制箱(5)设定的目标真空度相对应，毛细管和电磁阀组打开后与真空泵(7)的低频率工作相配合，实现真空校准室(2)压力的稳定。

3.根据权利要求1或2所述的校准装置，其特征在于所述真空泵(7)的工作频率根据设定真空度与真空校准室实际真空度的差值线性调节。

4.根据权利要求2所述的校准装置，其特征在于所述微调平衡器(1)内设置三组毛细管和电磁阀组，封装在同一个箱体内，分别在微调平衡器(1)上端设置空气入口，下端与同一个“T”形汇流管(14)连接，汇流管(14)在微调平衡器(1)下端设置空气出口与真空校准室(2)连接，三组的流量不同，控制系统根据设定的目标真空度预选定工作毛细管和电磁阀组，并根据真空校准室真空度与设定目标真空度的差值控制该组毛细管和电磁阀组的开合，实现对进气流量的动态调节，使真空校准室(2)的压力保持稳定。

5.根据权利要求2所述的校准装置，其特征在于在真空校准室(2)的赤道位置设置1-5个开口，连接1-5个被校准真空计，同时完成校准。