[实用新型]一种碳基电阻式柔性压力传感器有效
申请号: | 201621313382.4 | 申请日: | 2016-12-02 |
公开(公告)号: | CN206300743U | 公开(公告)日: | 2017-07-04 |
发明(设计)人: | 吴幸;刘善彪;张冬冬;郭丛威;谢馨莹;吴婧;王琪 | 申请(专利权)人: | 华东师范大学 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22 |
代理公司: | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙)31215 | 代理人: | 徐筱梅,张翔 |
地址: | 200241 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电阻 柔性 压力传感器 | ||
1.一种碳基电阻式柔性压力传感器,其特征在于:该传感器呈四层薄膜结构,包括柔性聚酰亚胺薄膜层、银电极层、柔性石墨烯和氧化石墨烯的复合薄膜层以及氧化石墨烯薄膜绝缘保护层,其中,聚酰亚胺薄膜层厚度为20μm -200μm;银电极层厚度500nm-5μm,生长在聚酰亚胺薄膜层两端;柔性石墨烯和氧化石墨烯的复合薄膜层厚度为50μm-600μm,该层呈蜂窝式多孔层状结构;氧化石墨烯薄膜绝缘保护层,厚度20μm-300μm;柔性石墨烯和氧化石墨烯的复合薄膜层与氧化石墨烯绝缘保护层生长在一起,与银电极层粘结在一起。
2.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:该压力传感器应变系数为2.1-3;压力测量范围为10Pa-900kPa;测出的高频压力信号为0-10kHz。
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