[实用新型]一种三维电磁悬浮微镜

权利要求书

1.一种三维电磁悬浮微镜，其特征在于，包括定子和转子，所述定子包括若干块轴向旋转驱动电极、若干块径向旋转驱动电极、公共电极、悬浮线圈、稳定线圈及引脚，若干块轴向旋转驱动电极呈环形分布于定子上，若干块径向旋转驱动电极呈环形分布于定子上，公共电极为圆形；悬浮线圈分布于轴向旋转驱动电极所在圆环的外周，稳定线圈分布于悬浮线圈的外周；所述引脚沿着定子的径向引出；所述转子中心设有反射镜。

2.根据权利要求1所述的三维电磁悬浮微镜，其特征在于，所述径向旋转驱动电极所在的圆环大于公共电极所在的圆，小于轴向旋转驱动电极所在的圆环。

3.根据权利要求1所述的三维电磁悬浮微镜，其特征在于，所述三维电磁悬浮微镜还包括电容检测电路、控制器和控制极板；所述控制极板与轴向旋转驱动电极、径向旋转驱动电极连接；所述电容检测电路与控制极板连接，用于获取转子实际转角，并与参考转角比较以获取误差值；所述控制器包括轴向旋转控制器和径向旋转控制器；所述误差值经过轴向旋转控制器后获得电压ΔV₁，经过径向转动控制器后输出电压ΔV₂～ΔV₃，再分别和预载电压V_b叠加后获得施加在控制极板上的控制电压信号V₁～V₇，其中V₁～V₃为轴向旋转控制电压，V₄～V₇为径向旋转控制电压。

4.根据权利要求1所述的三维电磁悬浮微镜，其特征在于，所述转子上设有呈环形均匀分布在转子上的若干通孔。

5.根据权利要求1所述的三维电磁悬浮微镜，其特征在于，所述定子上设有3个均分于定子所在平面的夹角为120°的引脚间隙，所述引脚沿着定子的径向从引脚间隙引出。

6.根据权利要求1所述的三维电磁悬浮微镜，其特征在于，所述轴向旋转驱动电极设有6块，电极夹角为30°，电极之间夹角为30°；所述径向旋转驱动电极设有8块，电极夹角为37°，电极之间夹角为8°。

7.根据权利要求1所述的三维电磁悬浮微镜，其特征在于，所述定子采用基于UV-LIGA技术加工而成；所述转子用镭射加工机切割铝箔形成。

8.根据权利要求1所述的三维电磁悬浮微镜，其特征在于，所述定子还包括设置在径向旋转驱动电极上的支撑柱。

9.根据权利要求8所述的三维电磁悬浮微镜，其特征在于，所述支撑柱采用光刻和腐蚀工艺获得。

10.根据权利要求1所述的三维电磁悬浮微镜，其特征在于，所述定子为金属平面结构。