[实用新型]一种石墨舟有效
| 申请号： | 201621316921.X | 申请日： | 2016-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN206271680U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 周军勇;周喜明;王庆钱;赵丽艳 | 申请（专利权）人： | 浙江鸿禧能源股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314206 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 | ||
【权利要求书】：
1.一种石墨舟，包括间隔排布的石墨舟片、连接块及两侧的操作脚，其特征在于：所述的每片石墨舟片均有相同数量的格子，每一格位置插片面均有长方形的凸起，每一格位置上部左右两侧及底部设有工艺固定孔，固定孔形成区域大小与硅片大小相同。
2.根据权利要求1所述的一种石墨舟，其特征在于：所述的石墨舟片，两端位置的石墨舟片为单面插片，中间位置的石墨舟片为双面插片。
3.根据权利要求1所述的一种石墨舟，其特征在于：所述的石墨舟片的数量为15-30片。
4.根据权利要求1所述的一种石墨舟，其特征在于：所述的凸起为长方形的凸起，宽度为3-10mm，长度为160-220mm，可以为分段式或直通式，凸起数量大于等于2。
5.根据权利要求1所述的一种石墨舟，其特征在于：所述的固定孔的数量为3-5个。
6.根据权利要求1所述的一种石墨舟，其特征在于：所述的每片石墨舟片上的格子数量相同，为8-12个。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
