[实用新型]一种石墨舟有效

专利信息
申请号: 201621316921.X 申请日: 2016-12-03
公开(公告)号: CN206271680U 公开(公告)日: 2017-06-20
发明(设计)人: 周军勇;周喜明;王庆钱;赵丽艳 申请(专利权)人: 浙江鸿禧能源股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 314206 浙江省嘉*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 石墨
【权利要求书】:

1.一种石墨舟,包括间隔排布的石墨舟片、连接块及两侧的操作脚,其特征在于:所述的每片石墨舟片均有相同数量的格子,每一格位置插片面均有长方形的凸起,每一格位置上部左右两侧及底部设有工艺固定孔,固定孔形成区域大小与硅片大小相同。

2.根据权利要求1所述的一种石墨舟,其特征在于:所述的石墨舟片,两端位置的石墨舟片为单面插片,中间位置的石墨舟片为双面插片。

3.根据权利要求1所述的一种石墨舟,其特征在于:所述的石墨舟片的数量为15-30片。

4.根据权利要求1所述的一种石墨舟,其特征在于:所述的凸起为长方形的凸起,宽度为3-10mm,长度为160-220mm,可以为分段式或直通式,凸起数量大于等于2。

5.根据权利要求1所述的一种石墨舟,其特征在于:所述的固定孔的数量为3-5个。

6.根据权利要求1所述的一种石墨舟,其特征在于:所述的每片石墨舟片上的格子数量相同,为8-12个。

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