[实用新型]研磨腔体及靶材打磨清洗机

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体设备技术领域，特别是涉及一种研磨腔体及靶材打磨清洗机。

背景技术

蒸镀工艺是现有半导体工艺中最常用的工艺之一，用于蒸镀工艺的蒸镀设备需要定期保养维护，在蒸镀设备定期保养维护的过程中，需要对蒸镀设备中的金属靶材进行清洗处理，现有对所述金属靶材进行清洗的方法为使用电动磨具人为手工对所述金属靶材进行打磨清洗。

但上述清洗方式存在如下缺陷：1、手工打磨清洗会产生粉尘，不能在无尘室内操作；2、手工打磨清洗时所述金属靶材可能会接触到操作者的双手，从而引入有机物而污染靶材；3、手工打磨清洗时打磨清洗的效果因人而异，参数不能量化，保养质量无法保证；4、手工打磨清洗增加了人力消耗。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种研磨腔体及靶材打磨清洗机，用于解决现有技术中使用电动磨具人为手工对所述金属靶材进行打磨清洗而存在的粉尘释放、靶材容易受污染、打磨清洗质量不稳定及增加人力消耗等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种研磨腔体，所述研磨腔体包括：腔体主体，所述腔体主体内形成有空腔，所述空腔内填充有与靶材材质相同的研磨颗粒。

作为本实用新型的研磨腔体的一种优选方案，所述研磨腔体还包括盖体，所述盖体扣置于所述腔体主体的顶部，以将所述空腔密封。

本实用新型提供一种靶材打磨清洗机，所述靶材打磨清洗机包括：如上述任一方案中所述的研磨腔体、连接器及驱动装置；

所述连接器一端与所述研磨腔体的底部相连接，另一端与所述驱动装置相连接；

所述驱动装置适于驱动所述连接器以带动所述研磨腔体旋转以带动所述研磨腔体旋转。

作为本实用新型的靶材打磨清洗机的一种优选方案，所述靶材打磨清洗机还包括转速传感器，所述转速传感器固定于所述连接器上，以监测所述驱动装置的转速。

作为本实用新型的靶材打磨清洗机的一种优选方案，所述靶材打磨清洗机还包括保护箱，所述保护箱位于所述研磨腔体、所述连接器及所述驱动装置的外围。

作为本实用新型的靶材打磨清洗机的一种优选方案，所述靶材打磨清洗机还包括隔音结构，所述隔音结构贴置于所述保护箱的内壁上。

作为本实用新型的靶材打磨清洗机的一种优选方案，所述隔音结构为隔音棉。

作为本实用新型的靶材打磨清洗机的一种优选方案，所述靶材打磨清洗机还包括支架，所述支架的底部固定于所述保护箱的底部，所述研磨腔体位于所述支架顶部。

作为本实用新型的靶材打磨清洗机的一种优选方案，所述靶材打磨清洗机还包括飞散物感应传感器，所述飞散物感应传感器位于所述保护箱内，适于检测所述保护箱内是否有飞散物。

作为本实用新型的靶材打磨清洗机的一种优选方案，所述靶材打磨清洗机还包括断电控制装置，所述断电控制装置与所述飞散物感应传感器相连接，适于在所述飞散物感应传感器感应到飞散物时控制所述靶材打磨清洗机断电。

作为本实用新型的靶材打磨清洗机的一种优选方案，所述靶材打磨清洗机还包括显示及控制面板，所述显示及控制面板适于设置所述驱动装置的转速，并显示所述驱动装置当前的转速。

作为本实用新型的靶材打磨清洗机的一种优选方案，所述靶材打磨清洗机还包括排气管路，所述排气管路与所述保护箱内部相连通。

如上所述，本实用新型提供一种研磨腔体及靶材打磨清洗机具有如下有益效果：

1.本实用新型的研磨腔体通过在空腔内填充与靶材材质相同的研磨颗粒，在外界驱动力的作用下可以在设备维护保养时对金属靶材进行打磨清洗工作，打磨清洗的质量较高；金属靶材不与外界直接接触，避免外部污染物进入，不会对金属靶材造成污染，降低保养风险；所述研磨腔体还可以将研磨清洗过程中产生的粉尘控制在所述研磨腔体内，使得研磨清洗可以在无尘室中进行；

2.本实用新型的靶材打磨清洗机可以在设备维护保养时对金属靶材进行打磨清洗工作，打磨清洗的质量较高；金属靶材不与外界直接接触，避免外部污染物进入，不会对金属靶材造成污染，降低保养风险；可以将研磨清洗过程中产生的粉尘控制在所述研磨腔体内，使得研磨清洗可以在无尘室中进行；打磨清洗过程中无需人员看守，从而释放了人力，降低了人力消耗。

附图说明

图1显示为本实用新型实施例一中提供的研磨腔体的结构示意图。

图2显示为本实用新型实施例二中提供的靶材打磨清洗机的结构示意图。

元件标号说明

1 研磨腔体