[实用新型]测量PERC太阳电池局域接触空洞的装置

权利要求书

1.一种测量PERC太阳电池局域接触空洞的装置，其特征在于：包括，

吸附台，吸附台通过真空泵产生负压从而吸附太阳电池；

设置于吸附台上方的刮刀，刮刀的刮头可在第一动力装置的作用下下压抵靠在太阳电池片的表面的铝层上，刮头同时可在第二动力装置的作用下在水平方向往复移动；

固定设置于刮头两侧的吸尘装置，吸尘装置的吸尘头与真空泵连接，在刮头工作过程中产生负压将刮头刮下来的碎屑吸走；以及，

图像扫描仪和硅片寻边系统，图像扫描仪的扫描头和硅片寻边系统设置于吸附台上方，并可在第三动力装置的作用下在水平方向往复移动；

所述的第一动力装置、第二动力装置、第三动力装置以及图像扫描头和硅片寻边系统与一计算机连接；计算机输出控制信号控制第一动力装置、第二动力装置、第三动力装置以及图像扫描头和硅片寻边系统的动作，同时接收图像扫描头和硅片寻边系统输入的信息，经处理后，输出和显示结果。

2.根据权利要求1所述的测量PERC太阳电池局域接触空洞的装置，其特征在于：所述刮头下压对电池片的压强范围为1- 100 Pa，刮头水平方向移动的速度为0.001-2 m/s。

3.根据权利要求1所述的测量PERC太阳电池局域接触空洞的装置，其特征在于：所述吸尘头安置于刮刀两侧，两侧的吸尘头同时工作，吸力范围为10-1000 mbar，进风量为102 m³/h 到5000 m³/h，所述图像扫描仪的精度为300 DPI – 4800 DPI。