[实用新型]一种易拆卸的坩埚护板

权利要求书

1.一种易拆卸的坩埚护板，包括一个顶板和四个外周板，所述顶板覆盖在所述外周板上面，其特征在于，所述顶板的外周部固定有连接杆，所述连接杆的下部与其中的一个外周板相互贴合且开设有第一孔洞，所述外周板上与所述第一孔洞位置相对应的部位开设有第二孔洞，利用插销同时穿过所述第一孔洞和所述第二孔洞实现所述顶板和所述外周板的间隙配合连接。

2.根据权利要求1所述的易拆卸的坩埚护板，其特征在于，所述第一孔洞和所述第二孔洞的形状相同。

3.根据权利要求2所述的易拆卸的坩埚护板，其特征在于，所述插销的直径比所述第一孔洞和所述第二孔洞的直径小5毫米至10毫米。

4.根据权利要求2所述的易拆卸的坩埚护板，其特征在于，所述第一孔洞和所述第二孔洞的截面形状为水平方向直径大于竖直方向直径的椭圆形。

5.根据权利要求1-4任一项所述的易拆卸的坩埚护板，其特征在于，所述插销为氮化硼陶瓷插销。

6.根据权利要求5所述的易拆卸的坩埚护板，其特征在于，所述连接杆为L型，且固定于所述顶板的上表面。

7.根据权利要求6所述的易拆卸的坩埚护板，其特征在于，所述连接杆与所述顶板之间通过螺杆和螺母进行连接。