[实用新型]抗污染残气分析装置

说明书

技术领域

本实用新型关于一种抗污染残气分析装置。

背景技术

残余气体分析仪(residual gas analyzer；RGA)通常用于量测真空腔体内的残余气体，例如水气、氧气、氮气等等。常用的残余气体分析仪工作范围通常须小于真空压力10^-4托(torr)以下。若残余气体分析仪暴露于污染气体时，容易造成残余气体分析仪的污染，举例而言，当水气附着在残余气体分析仪的管壁时，会量测到附着的水气而导致不准确的读值。

“现有技术”段落只是用来帮助了解本实用新型内容，因此在“现有技术”段落所揭露的内容可能包含一些没有构成所属技术领域中具有通常知识者所知道的习知技术。在“现有技术”段落所揭露的内容，不代表该内容或者本实用新型一个或多个实施例所要解决的问题，在本实用新型申请前已被所属技术领域中具有通常知识者所知晓或认知。

实用新型内容

本实用新型提供一种于抗污染残气分析装置。

本实用新型的其他目的和优点可以从本实用新型所揭露的技术特征中得到进一步的了解。

为达到上述之一或部份或全部目的或是其他目的，本实用新型的一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一隔离阀以及一加热单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力，且残余气体分析仪用以量测真空腔体内的残余气体的成分。隔离阀设于真空腔体与残余气体分析仪之间，隔离阀于真空腔体内的压力低于一设定值开启，以让真空腔体内的残余气体进入残余气体分析仪。加热单元于隔离阀开启前及开启后均启动以至少对残余气体分析仪加热。

本实用新型的另一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一加热单元以及一控制单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力，且残余气体分析仪于真空腔体内的压力低于一设定值开启以量测真空腔体内的残余气体的成分。加热单元于残余气体分析仪开启前及开启后均启动以至少对残余气体分析仪加热，且控制单元接收残余气体分析仪的残余气体的成分信息及真空计的读值，以计算各个残余气体成分于不同压力下的浓度。

本实用新型的另一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一隔离阀、一加热单元以及一控制单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力，且残余气体分析仪用以量测真空腔体内的残余气体的成分。隔离阀设于真空腔体与残余气体分析仪之间，隔离阀于真空腔体内的压力低于一设定值开启，以让真空腔体内的残余气体进入残余气体分析仪。以至少对残余气体分析仪加热，控制单元接收残余气体分析仪的残余气体的成分信息及真空计的读值，以计算各个残余气体成分于不同压力下的浓度。

本实用新型的另一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一加热单元以及一控制单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力，且残余气体分析仪于真空腔体内的压力低于一设定值开启以量测真空腔体内的残余气体的成分。加热单元至少对残余气体分析仪加热，且控制单元接收残余气体分析仪的残余气体的成分信息及真空计的读值，以计算各个残余气体成分于不同压力下的浓度。

本实用新型的另一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一加热单元以及一控制单元。真空计连接一真空腔体以量测该真空腔体内的压力，残余气体分析仪于真空腔体内的压力低于一设定值开启以量测该真空腔体内的残余气体的成分。加热单元用以至少对残余气体分析仪加热，控制单元接收真空腔体内的压力变化信息且控制加热单元，使加热单元于真空腔体内的压力在一预设的压力范围内时作动。

本实用新型的另一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一残余气体分析仪、一加热单元以及一控制单元。残余气体分析仪用以量测一真空腔体内的残余气体的成分，加热单元用以至少对残余气体分析仪加热。控制单元接收真空腔体内的至少一残余气体的含量变化信息，且控制加热单元使加热单元于选定的残余气体的含量在一预设范围内时作动。

本实用新型的另一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一加热单元以及一控制单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力，残余气体分析仪用以量测真空腔体内的残余气体的成分。加热单元用以至少对残余气体分析仪加热，控制单元接收残余气体分析仪的残余气体的成分信息及真空计的读值，且控制单元控制加热单元使加热单元于一预定时间内作动。