[实用新型]一种用于旋转模块中心的测校工具及系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，特别是涉及一种用于旋转模块中心的测校工具及系统。

背景技术

在半导体制造过程中，常用到旋转模块，而大部分旋转模块对旋转中心的定位精度要求都比较高，故此类设备都要定期对旋转中心的精度进行测试校准。

传统的测校方法都需要通过试验品的作业结果进行判定，部分还需要使用仪器测量并计算，非常耗费人力物力，同时会影响设备的使用效率。

发明内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种用于旋转模块中心的测校工具及系统，能够方便地校准旋转模块的中心。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个方案是：提供一种用于旋转模块中心的测校工具，包括：

固定底座；

记录机构，用于在所述旋转模块旋转时于其上的圆片表面留下痕迹；

连接机构，连接固定所述固定底座和所述记录机构，且至少在所述旋转模块旋转时使其记录机构与所述旋转模块之间的距离保持不变。

其中，所述工具进一步包括：

锁紧机构，用于将所述记录机构锁紧于所述连接机构。

其中，所述锁紧机构包括底板、夹持件以及锁紧件，所述底板和夹持件将所述连接机构夹持在中间，所夹持件一端固定于所述底板一端，另一端通过所述锁紧件固定于所述底板另一端。

其中，所述连接机构包括固定件和至少两件连接杆，至少一根所述连接杆一端固定于所述固定底座，至少另外一根所述连接杆固定所述记录机构，所述连接杆之间通过所述固定件连接固定。

其中，所述固定件为螺丝组件、磁性体、真空吸盘、绑带中的任一个。

其中，所述连接杆是塑料杆或金属杆。

其中，所述记录机构可以在所述连接杆上移动并固定，且可相对旋转，移动位置或旋转角度不同，所述记录机构与所述固定底座之间的距离或角度不同。

其中，所述记录机构是书写笔、喷嘴或激光发射器。

其中，所述固定底座为重量块、真空吸盘中的任一个。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的另一个技术方案是：提供一种用于旋转模块中心的测校系统，包括：

旋转模块；以及

上述方案中任一种用于旋转模块中心的测校工具。

本实用新型的有益效果是：本实用新型中由固定底座、连接机构以及记录机构组装成的测校工具能够方便地测校旋转模块的中心，有效省去人力、物力，简化操作。

附图说明

图1是本实用新型用于旋转模块中心的测校工具一实施例的结构示意图；

图2是本实用新型用于旋转模块中心的测校工具另一实施例中连接杆的结构示意图；

图3是本实用新型用于旋转模块中心的测校工具另一实施例中连接杆的结构示意图；

图4是本实用新型用于旋转模块中心的测校工具另一实施例的结构示意；

图5是用图4中测校工具测校旋转模块中心的工作示意图；

图6是图5中圆片被取下后的示意图；

图7是本实用新型用于旋转模块中心的测校系统一实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型进行详细的说明。

请参阅图1，图1是本实用新型用于旋转模块中心的测校工具一实施例的结构示意图，所述工具包括：

固定底座11，所述固定底座可以是重量块、真空吸盘中的任一个。

记录机构12，用于在所述旋转模块旋转时于其上的圆片表面留下痕迹，所述记录机构12可以是书写笔、喷嘴以及激光发射器中的任一个，只要能够在圆片表面留下清晰的痕迹即可。

连接机构13，包括固定件131和至少两件连接杆132、132，用于连接固定所述固定底座11和所述记录机构12，所述连接结构13能够在所述旋转模块旋转时使记录机构12与所述旋转模块之间的距离保持不变。

所述连接杆132呈长条形，所述连接杆133中间弯折成一定角度，所述连接杆133的一端和所述固定底座11配合连接固定，另一端通过固定件131和所述连接杆132的一端连接固定。

所述固定件131可以是螺丝组件、磁性体、真空吸盘、绑带中的任一个，便于所述工具的安装、调节和拆卸，同时通过松开所述固定件131，所述连接杆132与所述连接杆133之间的角度可调。可以理解的是，所述固定件131还可以集成于所述连接杆132或连接杆133中，使得所述连接杆132、连接杆133无需外物也能连接固定。