[实用新型]溅射薄膜型冲击力传感器有效
| 申请号： | 201621347576.6 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN206235423U | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 邓勇生;李建江;高罗强;彭旗 | 申请（专利权）人： | 陕西电器研究所 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00;G01L1/04 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司61100 | 代理人： | 李中群 |
| 地址： | 710025 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 薄膜 冲击力 传感器 | ||
1.一种溅射薄膜型冲击力传感器，其特征在于：包括一个下部带有膨大基座的倒T字型弹性体(3)，在弹性体(3)基座的上部套装有一个带电连接器(5)的中空壳体(4)，在壳体(4)上端和弹性体(3)上部间焊接有一个金属制凹形膜片(2)，弹性体(3)的上端杆部穿出凹形膜片(2)构成压头(1)，在壳体(4)和弹性体(3)杆体之间设置有一块与电连接器(5)接通的信号转接用电路板(6)，在电路板(6)上方设有一个不锈钢制弹性应变粱(7)，在应变粱(7)上通过磁控溅射方法制作有应变计(9)，应变计(9)和电路板(6)之间通过金丝球焊接连接。
2.根据权利要求1所述的溅射薄膜型冲击力传感器，其特征在于：所述应变计(9)是在不锈钢弹性粱上采用磁控溅射技术形成的一层金属膜电阻并通过金丝球焊连接到电路板(6)上所组成的惠斯通电桥电路。
3.根据权利要求1所述的溅射薄膜型冲击力传感器，其特征在于：所述凹形膜片(2)的凹形尺寸是半径为2mm的二分之一圆弧，通过激光焊接与壳体(4)和弹性体(3)连接。
4.根据权利要求1所述的溅射薄膜型冲击力传感器，其特征在于：所述弹性体(3)穿出凹形膜片(2)的压头(1)为圆弧形设计，其半径为13mm，弧度为67度，与被测体通过弧顶进行点接触。
5.根据权利要求1所述的溅射薄膜型冲击力传感器，其特征在于：所述电路板(6)通过螺钉固定在弹性体(3)的基座上。
6.根据权利要求1所述的溅射薄膜型冲击力传感器，其特征在于：所述壳体(4)采用激光焊接方式连接在弹性体(3)基座的上部。
7.根据权利要求1所述的溅射薄膜型冲击力传感器，其特征在于：在弹性体(3)基座下部开有用于与被测体固定安装的螺纹安装孔(8)。
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