[实用新型]一种便于脱胶的硅片脱胶支架有效
申请号: | 201621353042.4 | 申请日: | 2016-12-09 |
公开(公告)号: | CN206480609U | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 张行江 | 申请(专利权)人: | 新昌县儒岙镇心望行机械厂 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 北京天奇智新知识产权代理有限公司11340 | 代理人: | 王红涛 |
地址: | 312500 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 便于 脱胶 硅片 支架 | ||
【技术领域】
本实用新型涉及多晶硅生产的技术领域,特别是硅片脱胶槽的技术领域。
【背景技术】
硅片表面的清洁度是影响硅片合格率和电池转换效率的关键因素。为获得洁净度较高的硅片,往往硅片在经过线切割后需要脱胶清洗和精细清洗两个部分。脱胶清洗时会使用到脱胶支架,用于放置需要脱胶的硅片。现有的脱胶支架使用不方便,且脱胶效果不够理想。
【实用新型内容】
本实用新型的目的就是解决现有技术中的问题,提出一种便于脱胶的硅片脱胶支架,能够使硅片脱胶效果提高,同时使用方便。
为实现上述目的,本实用新型提出了一种便于脱胶的硅片脱胶支架,包括顶板、竖直立柱、U型框、挡板,所述顶板底部固定有4根竖直立柱,4根竖直立柱组成一矩形阵列,所述竖直立柱所围区域内自上向下固定有若干水平设置的U型框,U型框截面呈L形,所有U型框的开口端均朝向一侧,所述顶板底部固定有一可拆卸的挡板,挡板位于U型框的开口侧。
作为优选,所述挡板紧贴两根竖直立柱,挡板通过若干螺栓与竖直立柱相连。
作为优选,所述顶板顶部固定有若干抓取把手,抓取把手呈倒置的U形,抓取把手排成一条直线。
本实用新型的有益效果:本实用新型通过将U型框设置在竖直立柱所围区域内,使得待脱胶的硅片可相互分开,使得硅片可与脱胶液充分接触,提高脱胶效率;挡板的设置可以有效的避免硅片从U型框中滑出,有效的保护了硅片的安全;抓取把手的设置方便了将脱胶支架的取放。
本实用新型的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
图1是本实用新型一种便于脱胶的硅片脱胶支架的主视图;
图2是本实用新型一种便于脱胶的硅片脱胶支架的仰视图。
图中:1-顶板、2-竖直立柱、10-抓取把手、20-U型框、21-挡板、22-螺栓。
【具体实施方式】
参阅图1和图2,本实用新型一种便于脱胶的硅片脱胶支架,包括顶板1、竖直立柱2、U型框20、挡板21,所述顶板1底部固定有4根竖直立柱2,4根竖直立柱2组成一矩形阵列,所述竖直立柱2所围区域内自上向下固定有若干水平设置的U型框20,U型框20截面呈L形,所有U型框20的开口端均朝向一侧,所述顶板1底部固定有一可拆卸的挡板21,挡板21位于U型框20的开口侧,所述挡板21紧贴两根竖直立柱2,挡板21通过若干螺栓22与竖直立柱2相连,所述顶板1顶部固定有若干抓取把手10,抓取把手10呈倒置的U形,抓取把手10排成一条直线。
本实用新型工作过程:
本实用新型一种便于脱胶的硅片脱胶支架在工作过程中取下挡板21,在每个U型框20上放一片硅片,然后将挡板21重新安装上,然后对硅片进行脱胶处理,由于U型框20将各个硅片隔开,使得硅片可与脱胶液充分接触,提高脱胶效果。
上述实施例是对本实用新型的说明,不是对本实用新型的限定,任何对本实用新型简单变换后的方案均属于本实用新型的保护范围。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造