[实用新型]液位传感器校准装置有效

专利信息
申请号: 201621354122.1 申请日: 2016-12-09
公开(公告)号: CN206258170U 公开(公告)日: 2017-06-16
发明(设计)人: 谭巧敏;黄涛;丁杰 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G01F25/00 分类号: G01F25/00
代理公司: 上海光华专利事务所31219 代理人: 余明伟
地址: 100176 北京市大兴*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 传感器 校准 装置
【权利要求书】:

1.一种液位传感器校准装置,其特征在于,所述液位传感器校准装置包括:

储液罐;

位于所述储液罐侧壁上且垂直排列的至少两个液位传感器;

位于所述储液罐内,并通过与第一阀门和第二阀门配合,将所述储液罐隔离成第一腔室和第二腔室的隔离墙壁,其中,所述第一阀门位于所述储液罐上方,所述第二阀门位于所述储液罐下方,所述隔离墙壁分别与所述储液罐上方和下方设有预设距离;

位于所述储液罐上方、且部分进入所述储液罐内的液流管,其中,所述液流管上设置有第三阀门;

位于所述第二腔室上表面的注入口;以及

位于所述第二腔室下表面的排泄口。

2.根据权利要求1所述的液位传感器校准装置,其特征在于,所述液流管包括主管路,与所述主管路分别连接的第一管路和第二管路,其中,所述第一管路位于所述储液罐上方且部分进入所述第一腔室,所述第二管路位于所述储液罐上方且部分进入所述第二腔室。

3.根据权利要求2所述的液位传感器校准装置,其特征在于,所述第三阀门位于所述主管路上或所述第三阀门位于所述第二管路上。

4.根据权利要求1所述的液位传感器校准装置,其特征在于,所述第一腔室和第二腔室的宽度比大于或等于5:1。

5.根据权利要求1所述的液位传感器校准装置,其特征在于,所述隔离墙壁与所述储液罐上方的预设距离、和所述隔离墙壁与所述储液罐下方的预设距离相等。

6.根据权利要求5所述的液位传感器校准装置,其特征在于,所述预设距离小于所述储液罐高度的一半。

7.根据权利要求1所述的液位传感器校准装置,其特征在于,所述液位传感器为接触式液位传感器或非接触式液位传感器中的一种。

8.根据权利要求1所述的液位传感器校准装置,其特征在于,所述隔离墙壁为防酸碱腐蚀隔离墙壁。

9.根据权利要求1所述的液位传感器校准装置,其特征在于,所述储液罐为半透明储液罐。

10.根据权利要求1所述的液位传感器校准装置,其特征在于,所述液位传感器的数量为4个。

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