[实用新型]一种电子束控制装置

权利要求书

1.一种电子束控制装置，其特征在于，包括：

电子加速器；

设置在电子加速器电子束引出窗下方的格栅，所述格栅长方向两端分别设置有多组可引出电子束流的通孔；

设置在格栅下方以与通孔相配合实现电子束流检测的扫描边界检测装置；

所述扫描边界检测装置通信连接至电子加速器的扫描控制系统。

2.如权利要求1所述的电子束控制装置，其特征在于，所述电子束通过电子加速器产生并通过格栅和钛膜引出；

进而通过设置在格栅上的多组通孔引出待检测的电子束流至扫面边界检测装置；

且各组通孔被分别设置在格栅的两端部。

3.如权利要求1所述的电子束控制装置，其特征在于，所述扫描边界检测装置包括控制电路板以及设置在控制电路板上以与各组通孔相配合的多个探针。

4.如权利要求3所述的电子束控制装置，其特征在于，多个所述探针被配置为多个按格栅长度、宽度区域划分的探针组，以对各组通孔对格栅长度方向以及宽度方向上的引出电子束流进行检测，进而根据探针组是否检测到相应的电子信号，实现对电子加速器产生引出电子束扫描边界大小的检测。

5.如权利要求1所述的电子束控制装置，其特征在于，所述扫描检测装置还通信连接有束流控制系统，以通过扫描检测装置接收到的束流大小判断电子加速器实时引出束流的大小，进而通过束流控制系统发出相应控制信号，以对引出电子束的束流大小进行实时控制。

6.如权利要求5所述的电子束控制装置，其特征在于，所述扫描控制系统、束流控制系统与扫描边界检测装置之间还设置有信号测量系统，以将扫描检测装置检测到的电子信号转换成对应的电流或电压信号，进而使得扫描控制系统、束流控制系统测通过电流或电压信号的大小，实现对扫描边界是否超出范围、束流大小是否在预定范围的判断和控制。

7.如权利要求1所述的电子束控制装置，其特征在于，所述格栅通过相配合的安装孔以设置在固定板上，所述固定板的一端设置有冷却水出、入口。