[实用新型]硅片分选上下料机器人系统有效
申请号: | 201621355689.0 | 申请日: | 2016-12-12 |
公开(公告)号: | CN206225390U | 公开(公告)日: | 2017-06-06 |
发明(设计)人: | 黄小伟;田智勇 | 申请(专利权)人: | 上海考迈机器人有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201811 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 分选 上下 机器人 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种机器人系统,特别是涉及一种硅片分选上下料机器人系统。
背景技术
随着我们国家产业升级的不断深入,各行业为了提高生产效率与降低成本,对自动化生产有了迫切需求。光伏产业极其硅片相关产业的工厂对自动化生产或减少人工生产也越来越积极。国内很多光伏企业投入重金,在硅料提取,制作硅胚,硅胚切片,硅片清洗,硅片分选等过程中也越来越多的自动设备得到应用。特别在硅片切好之后,从硅片清洗到烘干再到分选的过程之中,短短十年间,越来越多的人工操作变成了自动高效生产,原来的人工插片变成了自动插片机,原来人工将片盒放入铁框也变得有自动上料机完成,人工清洗烘干硅片变成了自动输送清洗烘干硅片,这些都已经实现了自动生产。但在硅片清洗烘干好后,放入分选机的供料系统上,目前大多还在用人工来放入分选机的供料系统上,所以我们公司开发的硅片上下料机器人系统就是来解决这一难题的。并在徐州协鑫科技有限公司得到了高效高稳定性的使用。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片分选上下料机器人系统,其能够提高生产效率,提高准确度,结构简单,成本低廉,使用方便。
本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的:一种硅片分选上下料机器人系统,其包括清洗烘干机、料框、料框定位机、空盒回流输送线、料盒、料盒上料机构、分选机、分选机料框、料盒定位平台、料盒旋转输送线、空盒输送线、料盒与空框提取机构、空框回流输送线、清洗烘干机传输线,清洗烘干机传输线从清洗烘干机中间穿过并延长离分选机端面0.9m的距离,料框定位机放在清洗烘干机传输线后端两条尼龙链条的下方相应位置,料框定位机、料盒旋转输送线、空框回流输送线都与料盒与空框提取机构相连,料盒定位平台、料盒与空框提取机构都与料盒旋转输送线相连,空盒回流输送线、料盒定位平台、分选机、分选机料框都与料盒上料机构相连,料盒定位平台、空盒输送线都与空盒回流输送线相连,料框与清洗烘干机传输线相连。
优选地,所述料框定位机包括碎片收集模块、顶爪与平齐爪机构、右侧推板、右推气缸、后端定位机构、等待阻挡机构、阻挡气缸、料框定位机架、前端定位机构、左侧推板,碎片收集模块固定在料框定位机架上,三套顶爪与平齐爪机构安装在料框定位机架上,右侧推板、右推气缸、左侧推板分别安装在料框定位机架的两侧,后端定位机构与前端定位机构分别安装在料框定位机架的前后两端,等待阻挡机构、阻挡气缸都与料框定位机架相连,等待阻挡机构位于阻挡气缸的上方。
优选地,所述料盒与空框提取机构包括机械手机构、机架、第一X轴模组、第一Z轴模组、第一拖链机构,机械手机构3安装在第一Z轴模组上,第一Z轴模组安装在第一X轴模组上,第一X轴模组整体固定在机架上,第一X轴模组、第一Z轴模组都与第一拖链机构相连。
优选地,所述料盒旋转输送线包括旋转输送机架、第一输送电机、旋转机构、第一旋转气缸、尼龙链条、顶出气缸,第一输送电机固定在输送机架上,两条尼龙链条与旋转输送机架相连,第一旋转气缸、顶出气缸都固定在旋转输送机架上,第一旋转气缸、顶出气缸都与旋转机构相连。
优选地,所述料盒定位平台包括支架、定位平台板、定位靠板、定位导向板、定位推板机构,定位平台板与两个支架相连,定位靠板、定位导向板、定位推板机构都固定在定位平台板上,定位导向板、定位推板机构分别位于定位靠板的两侧。
优选地,所述料盒上料机构包括第二Z轴模组、第二X轴模组、Y轴模组、第二拖链机构、主机架、支撑柱、机械爪手、宽口机械夹、力传感器、第二旋转气缸、机械手机构,主机架与四根支撑柱相连形成了龙门机架,第二X轴模组与Y轴模组相连,第二Z轴模组安装在第二X轴模组的滑块上,这样形成了一套X轴、Y轴、Z轴的三轴联动系统,力传感器安装在机械爪手上,机械爪手安装在宽口机械夹上,宽口机械夹安装在第二旋转气缸上,第二旋转气缸安装在机械手机构上,机械手机构安装在第二Z轴模组上,第二X轴模组、Y轴模组都与第二拖链机构相连。
优选地,所述空盒回流输送线包括空盒输送机架、空盒输送皮带、左侧挡板、右侧挡板、推盒气缸、空盒导槽、推盒滑动机构、第二输送电机、推盒板、空盒挡板,空盒输送机架与空盒输送皮带相连,左侧挡板、右侧挡板都固定在空盒输送机架上,第二输送电机固定在空盒输送机架上,推盒气缸、推盒板都安装在推盒滑动机构上,推盒滑动机构固定在空盒输送机架上,推盒气缸与空盒导槽相连,推盒板与空盒挡板相连。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的