[实用新型]一种平场全息凹面光栅的角度微调装置有效
| 申请号： | 201621363171.1 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN206235393U | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 刘旭亮 | 申请（专利权）人： | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/18 | 分类号： | G01J3/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区郭*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全息 凹面 光栅 角度 微调 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种平场全息凹面光栅的角度微调装置，它由一个光栅底座、一个光栅底座托盘、一个装置底座、一个连接键、一个蜗杆、一个齿轮和三个固定螺栓组成；其特征在于所述的齿轮中心位置是凸起的传动轴；连接键镶嵌于齿轮传动轴的键槽中；齿轮传动轴穿过光栅底座托盘中间孔洞与光栅底座相连;蜗杆与齿轮相连放置在装置底座上；光栅底座托盘与装置底座相连后用固定螺栓固定。
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