[实用新型]一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机有效
申请号: | 201621374767.1 | 申请日: | 2016-12-15 |
公开(公告)号: | CN206293164U | 公开(公告)日: | 2017-06-30 |
发明(设计)人: | 张泳 | 申请(专利权)人: | 上海精典电子有限公司 |
主分类号: | G11B33/00 | 分类号: | G11B33/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 顾正超 |
地址: | 201206 上海市浦东新区中国*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 光刻 系统 中的 兼容 替代 磁带机 | ||
1.一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机,其特征在于,包括:
外置磁带机;
SCSI接口、68针转50针接头和50针SCSI数据线,连接于所述外置磁带机;
开关模块,设置于所述外置磁带机上。
2.根据权利要求1所述的应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机,其特征在于,所述外置磁带机兼容DDS2,DDS3和DDS4磁带。
3.根据权利要求1所述的应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机,其特征在于,所述外置磁带机为兼容型DDS4外置磁带机。
4.根据权利要求1所述的应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机,其特征在于,所述50针SCSI数据线连接于光刻机主电脑。
5.根据权利要求1所述的应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机,其特征在于,所述开关模块具有多个开关,所述多个开关通过设置兼容多型号光刻机主电脑。
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