[实用新型]一种激光干涉仪干涉镜调整平台

说明书

技术领域

本实用新型属于数控机床精度检测领域，具体涉及一种激光干涉仪检测大型数控机床精度时干涉镜调整平台。

背景技术

激光干涉仪，利用迈克耳逊干涉系统测量位移，以稳频氦氖激光为光源，配合折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，常作为测量仪器和高精密数控机床的精度校正工作。激光干涉仪系统构成由激光头、干涉镜、反射镜三个最基本构成；经激光发射器进入干涉镜、反射镜的一路或多路激光必须保证空间内平行，调光时，干涉镜在水平平面、垂直平面内偏摆、俯仰调整至关重要，角度不合将造成经干涉镜后形成的参考光束与经反射镜后的测量光束无法重叠回到激光发射器的感应器上，最终测量数据无法采集。每次测量时，干涉镜的调平、调正对操作经验要求高，3m长垂直轴的线性测量长需要2人4小时以上的配合作业，耗时费力无法满足生产需求。

目前，在现有技术中，关于激光干涉仪调整平台存在下述申请，公开号为CN 104390586 A的专利文献，公开了一种机床单轴运动的几何误差的检测设备及检测方法，具体的机构中，公开了激光干涉仪，公开了干涉镜组，公开了反射镜组，公开了用安装干涉镜组的支架，但其结构复杂，不易于操作，适用性低，因此，如何设计一种调整快捷，降低员工操作技能要求，能够应用于多种复杂环境，提高机床精度矫正效率的激光干涉仪调整平台成为本领域亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术的不足，提供一种激光干涉仪干涉镜调整平，实现调整快捷，制作简单，维修方便，满足快速调平调正干涉镜，降低员工操作技能要求与劳动强度，提高机床精度矫正效率。

为解决上述问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种激光干涉仪干涉镜调整平台，其特征在于，包括：三角支架、调平螺栓、平台、干涉镜、编码器、同步电机、上法兰、下法兰和精密回转轴，其中，所述干涉镜安装在所述平台上，所述平台下端连接所述精密回转轴，所述精密回转轴下端与所述同步电机连接组成回转机构，同步电机带动回转轴实现所述平台回转，所述精密回转轴通过深沟球轴承安装在所述上法兰和所述下法兰内部，所述同步电机位于所述下法兰下方，所述编码器设置在所述同步电机下方，所述上法兰和所述下法兰设置在三角支架上，其中：

所述三角支架包括：支撑板、支撑杆、支撑平台和支撑垫板，其中，所述支撑板安装在所述支撑平台上侧，所述支撑平台下端通过回转锁紧螺钉安装三根可合并和伸缩的支撑杆，实现支撑平台大幅度的水平调节和三根支撑杆开合角度的调整，所述支撑杆下端与所述支撑垫板连接，所述调平螺栓安装在所述支撑垫板上，实现支撑平台小幅度的水平调节。

进一步的，所述干涉镜通过磁力表座安装于平台上。

进一步的，还包括KBE联轴器，用于精密回转轴下端和同步电机的连接。

进一步的，还包括伸缩紧固冒，用于支撑杆的伸缩处的固定。

进一步的，所述同步电机为带小型抱闸同步电机。

进一步的，还包括螺栓，所述上法兰和下法兰通过螺栓安装在三角支架的支撑板上。

进一步的，还包括套筒，其位于精密回转轴外围。

进一步的，所述调平螺栓的螺纹为细牙螺纹。

进一步的，还包括回转位置控制机构，用于调整回转机构位置。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型应实现了在激光干涉仪校准精密数控机床数控精度时，干涉镜空间角度调平调正，能够应用于校检垂直轴线性、垂直度等对调光技能要求高的场合，也可用于水平轴线性测量调光，提高了校验调整效率。本实用新型结构简单，运行稳定，维修方便，执行层技能水平要求低，上手快。

附图说明

图1为本实用新型激光干涉仪测量原理示意图。

图2为本实用新型激光干涉仪干涉镜调整平台的结构示意图。

其中，101、激光头102、分光镜103、参考反射镜104、测量反射镜105、运动轴106、干涉镜1、干涉镜2、平台3、螺栓4、支撑平台5、回转锁紧螺钉6、伸缩紧固帽7、支撑杆8、调平螺栓9、支撑垫板10、编码器11、同步电机12、下法兰13、KBE联轴器14、锁紧螺母15、支撑板16、套筒17、上法兰18、深沟球轴承19、精密回转轴。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。