[实用新型]双电容式微机械加速度传感器及基于其的温度自补偿系统

权利要求书

1.一种双电容式微机械加速度传感器，其特征在于：包括栅极单元和固定铝电极单元，所述栅极单元包括N个宽栅极以及与宽栅极数量相等的窄栅极；所述固定铝电极单元包括2N个宽固定铝电极以及与宽固定铝电极数量相等的窄固定铝电极；N大于等于1；

所述宽栅极的极板宽度大于窄栅极；

所述宽固定铝电极的极板宽度大于窄固定铝电极；

宽栅极与相对应两个宽固定铝电极构成第一电容，窄栅极与相对应两个窄固定铝电极构成第二电容；

宽栅极和相对应的宽固定铝电极的交叠部分，与窄栅极和相对应的窄固定铝电极的交叠部分的宽度不同。

2.根据权利要求1所述的双电容式微机械加速度传感器，其特征在于：所述N大于等于2，所述宽栅极和窄栅极相互交错。

3.一种基于双电容式微机械加速度传感器的温度自补偿系统，其特征在于：

包括具有两个输出端的双电容式微机械加速度传感器、第一差分电容电压转换电路、第二差分电容电压转换电路、同相相干解调器、反相相干解调器、第一移相器、第二移相器、第一低通滤波器、第二低通滤波器、高频载波发生器和自补偿电路；

所述高频载波发生器的输出端分别与双电容式微机械加速度传感器的输入端、第一移相器的输入端、第二移相器的输入端连接；

所述双电容式微机械加速度传感器的两个输出端分别与第一差分电容电压转换电路的输入端、第二差分电容电压转换电路的输入端连接；所述第一差分电容电压转换电路的输出端、第二差分电容电压转换电路的输出端分别与同相相干解调器输入端、反相相干解调器的输入端连接；所述同相相干解调器输入端、反相相干解调器的输入端还分别与第一移相器的输出端、第二移相器的输出端连接；所述同相相干解调器的输出端、反相相干解调器的输出端分别与第一低通滤波器的输入端、第二低通滤波器的输入端连接；所述第一低通滤波器的输出端、第二低通滤波器的输出端与自补偿电路的输入端连接；

所述第一移相器的输出信号和第一差分电容电压转换电路的输出信号同相，第二移相器的输出信号和第二差分电容电压转换电路的输出信号反相。

4.根据权利要求3所述的基于双电容式微机械加速度传感器的温度自补偿系统，其特征在于：所述双电容式微机械加速度传感器包括栅极单元和固定铝电极单元，所述栅极单元包括N个宽栅极以及与宽栅极数量相等的窄栅极；所述固定铝电极单元包括2N个宽固定铝电极以及与宽固定铝电极数量相等的窄固定铝电极；N大于等于1；

所述宽栅极的极板宽度大于窄栅极；

所述宽固定铝电极的极板宽度大于窄固定铝电极；

宽栅极与相对应两个宽固定铝电极构成第一电容，窄栅极与相对应两个窄固定铝电极构成第二电容；

宽栅极和相对应的宽固定铝电极的交叠部分，与窄栅极和相对应的窄固定铝电极的交叠部分的宽度不同。

5.根据权利要求4所述的基于双电容式微机械加速度传感器的温度自补偿系统，其特征在于：所述N大于等于2，所述宽栅极和窄栅极相互交错。

6.根据权利要求3所述的一种基于双电容式微机械加速度传感器的温度自补偿系统，其特征在于：自补偿电路由加法器组成，加法器的输出即为电容式微机械加速度传感器的输出。