[实用新型]一种膜厚测试仪

权利要求书

1.一种膜厚测试仪，其特征在于，包括主机和设置在所述主机上的探头机构，所述主机包括主板、后面板和前面板，所述主板上设置有电源板、显示单元、振荡器采样单元、按键单元和单片机控制单元，所述单片机控制单元分别与所述电源板、所述显示单元、所述振荡器采样单元、所述按键单元连接，所述探头机构包括探头主体和装晶片外盖。

2.如权利要求1所述的膜厚测试仪，其特征在于，所述探头主体包括陶封体、安装体、晶片和弹簧片，所述陶封体穿透所述安装体并且通过设置在所述陶封体底端的同轴电缆与所述晶片连接，所述安装体通过设置在所述安装体两端的水管与所述晶片连接，所述晶片上设置有所述弹簧片。

3.如权利要求2所述的膜厚测试仪，其特征在于，所述探头主体还包括有法兰和密封圈，所述法兰设置在所述安装体的底端，所述法兰与所述安装体之间设置有所述密封圈。

4.如权利要求3所述的膜厚测试仪，其特征在于，所述后面板上设置有并列设置的电源输入端、保险丝座、通信口、输入检测口和输出控制口。

5.如权利要求4所述的膜厚测试仪，其特征在于，所述前面板上设置有显示屏和按键。

6.如权利要求5所述的膜厚测试仪，其特征在于，所述输入检测口包括并列设置的第一探头座接口、第二探头座接口、第三探头座接口、第四探头座接口、第五探头座接口和第六探头座接口。

7.如权利要求6所述的膜厚测试仪，其特征在于，所述输出控制口包括并列设置的第一拓展口、第二拓展口、第三拓展口、第四拓展口、第五拓展口和第六拓展口。

8.如权利要求7所述的膜厚测试仪，其特征在于，所述晶片为6MHz平面石英测厚晶片。