[实用新型]太阳能硅片清洗设备

权利要求书

1.一种太阳能硅片清洗设备，其特征在于，包括依次相连的上料部分、主体部分以及下料部分，其中：

上料部分放置有插满硅片的载片盒，硅片从载片盒中取出后通过上料部分流入主体部分中；

主体部分用于对从上料部分流入的硅片进行清洗；

下料部分放置有空置的载片盒，经过主体部分清洗后并从主体部分流出的硅片通过下料部分插入至空置的载片盒中；

所述上料部分与所述下料部分分布在所述主体部分的同一侧，且所述上料部分、主体部分和下料部分呈U形分布。

2.如权利要求1所述的太阳能硅片清洗设备，其特征在于，所述主体部分本身也呈U形分布。

3.如权利要求1或2所述的太阳能硅片清洗设备，其特征在于，所述主体部分设置有进料端及出料端，所述进料端与所述上料部分连接，所述出料端与所述下料部分连接。

4.如权利要求1所述的太阳能硅片清洗设备，其特征在于，所述上料部分的长度为0.2-10米，所述下料部分的长度为0.2-10米。

5.如权利要求1或4所述的太阳能硅片清洗设备，其特征在于，所述上料部分与所述下料部分的长度相等。

6.如权利要求1所述的太阳能硅片清洗设备，其特征在于，所述上料部分的宽度为0.2-10米，所述下料部分的宽度为0.2-10米。

7.如权利要求1或6所述的太阳能硅片清洗设备，其特征在于，所述上料部分与所述下料部分的宽度相等。