[实用新型]用于抽运探测热反射系统的无物镜测量装置

权利要求书

1.一种用于抽运探测热反射系统的无物镜测量装置，其特征在于，包括：第一线性移动台；

第二线性移动台；

第三线性移动台；

转接基板；以及

直角支架；其中，

所述第一和第二线性移动台通过所述转接基板正交装配，形成XY配置移动台，实现水平面内的移动；

所述第三线性移动台通过所述直角支架与所述第一和第二线性移动台正交装配，形成三维移动平台；

所述第一线性移动台，第二线性移动台，第三线性移动台分别沿所述三维移动平台的X、Y、Z轴方向移动。

2.根据权利要求1所述的用于抽运探测热反射系统的无物镜测量装置，其特征在于，还包括：样品内托架，用于液体和粉体形式样品测量。

3.根据权利要求2所述的用于抽运探测热反射系统的无物镜测量装置，其特征在于，所述样品内托架包括样品内托架固定圈和镀有金属传感层的玻璃，所述镀有金属传感层的玻璃包括玻璃和金属传感层，所述样品内托架固定圈中部设有通孔，该通孔与所述镀有金属传感层的玻璃共同构成一个凹状结构，用于盛放液体或粉体形式的样品。

4.根据权利要求3所述的用于抽运探测热反射系统的无物镜测量装置，其特征在于，还包括：样品外托架，用于固体样品测量或提供对样品内托架的固定。

5.根据权利要求4所述的用于抽运探测热反射系统的无物镜测量装置，其特征在于，采用所述样品外托架固定所述样品内托架，其中，

所述样品内托架的镀有金属传感层的玻璃的金属侧通过粘合剂与所述样品内托架固定圈相连，其玻璃侧朝下放置于所述样品外托架内部，通过所述样品外托架连接在接杆上，并通过接杆连接所述第三线性移动台。

6.根据权利要求4所述的用于抽运探测热反射系统的无物镜测量装置，其特征在于，还包括离轴抛物面反射镜，位于所述样品外托架正下方，抽运激光和探测激光共线发射至所述离轴抛物面反射镜，经所述离轴抛物面反射镜反射后聚焦于所述样品上，通过三维移动平台可以根据具体样品尺寸调整焦点与样品的相对位置。

7.根据权利要求6所述的用于抽运探测热反射系统的无物镜测量装置，其特征在于，所述离轴抛物面反射镜的离轴角为90°，在450nm–2μm波长范围内反射率大于90％。

8.根据权利要求7所述的用于抽运探测热反射系统的无物镜测量装置，其特征在于，所述离轴抛物面反射镜采用外螺纹安装转接件、无螺纹的安装转接件或离轴抛物面反射镜安装座进行安装。

9.根据权利要求6所述的用于抽运探测热反射系统的无物镜测量装置，其特征在于，所述第一和第二线性移动台分别沿着所述三维移动平台的X、Y轴移动以调节所述样品外托架的水平位置，所述第三线性移动台沿着所述三维移动平台的Z轴移动以调节样品外托架的竖直高度，使聚焦焦点位于样品外托架内的样品表面或样品内托架的金属传感层表面的不同位置，实现对不同位置样品热物性的测量。

10.根据权利要求1所述的用于抽运探测热反射系统的无物镜测量装置，其特征在于，所述第一线性移动台、第二线性移动台及第三线性移动台具有硬化钢线性轴承及定位梢，组装成右手或左手系正交线性三维移动平台，其正交误差小于5mrad。