[实用新型]一种石墨等离子源

权利要求书

1.一种石墨等离子源，其特征在于：包括石墨阳极环、阳极盖板、石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板、第二绝缘板、进水管、出水管、第一紧固件和第二紧固件；所述石墨阳极环与阳极盖板相连形成顶部开口的容纳空腔，石墨阴极、冷却池、冷却池盖板、第一绝缘板均设于容纳空腔内；所述石墨阴极设于冷却池的顶部；所述冷却池为空腔结构，其内底部设有极靴，极靴上置有磁钢和磁钢环，磁钢的N极和S极呈上下分布，与磁钢环的磁极分布方向相反，且磁钢置于磁钢环的中心位置；所述冷却池盖板和第一绝缘板顺次设于冷却池和阳极盖板之间；所述第二绝缘板设于阳极盖板下方；所述进水管和出水管均依次贯穿冷却池盖板、第一绝缘板、阳极盖板、第二绝缘板，且进水管和出水管与冷却池盖板固定连接，进水管和出水管的顶端位于冷却池内，进水管和出水管的底端分别与第一紧固件和第二紧固件连接，用于实现将冷却池盖板、第一绝缘板、阳极盖板、第二绝缘板紧密贴合。

2.根据权利要求1所述的一种石墨等离子源，其特征在于：所述阳极盖板与进水管和出水管之间设有空隙，空隙间距为2-10mm。

3.根据权利要求1所述的一种石墨等离子源，其特征在于：所述石墨阳极环与石墨阴极之间具有间隙，间隙间距为1-10mm。

4.根据权利要求1所述的一种石墨等离子源，其特征在于：所述冷却池盖板与冷却池通过螺钉连接，且冷却池底面设有第一密封圈凹槽，第一密封圈凹槽嵌入有第一密封圈。

5.根据权利要求4所述的一种石墨等离子源，其特征在于：所述冷却池盖板在远离冷却池的一面上设有第二密封圈凹槽，第二密封圈凹槽嵌入有第二密封圈；所述阳极盖板靠近第一绝缘板的一面上设有第三密封圈凹槽，第三密封圈凹槽嵌入有第三密封圈；所述阳极盖板上位于石墨阳极环外侧处设置有第四密封圈凹槽，第四密封圈凹槽嵌入有第四密封圈。

6.根据权利要求1所述的一种石墨等离子源，其特征在于：所述石墨阴极靠近冷却池的表面为光滑表面，其远离冷却池的表面为通过机械加工或激光蚀刻形成的粗糙表面。