[实用新型]一种电池硅片自动除尘机构有效
申请号: | 201621409626.9 | 申请日: | 2016-12-21 |
公开(公告)号: | CN206349383U | 公开(公告)日: | 2017-07-21 |
发明(设计)人: | 项望;景欢旺;吕海军;高超;王晓丽 | 申请(专利权)人: | 江苏晶鼎电子材料有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/02;H01L21/67 |
代理公司: | 北京市领专知识产权代理有限公司11590 | 代理人: | 林辉轮 |
地址: | 223700 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电池 硅片 自动 除尘 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种电池硅片自动除尘机构,属于电池硅片除尘技术领域。
背景技术
电池硅片是太阳能电池片的核心器件,它可以通过光伏特效应将太阳能直接转化为电能进行储存和应用,在实际的应用中,由于本道工序设备特点,电池硅片在设备中完成PEVCD工序加工后,原先进入设备的电池硅片下表面会形成一层减反射膜,电池硅片被自动运载至设备出口处收集,电池硅片在设备内运载过程中,设备运输通道内的灰尘、氮化硅颗粒等可能会散落在电池硅片上表面,若不清理干净,电池硅片在落入缓存装置后,下面一张硅片上表面的灰尘、氮化硅颗粒物会划伤、磨损上一张硅片下表面的减反射膜,在后续的工序加工过程中,灰尘、氮化硅颗粒物等会造成电池片隐裂、破片,降低产品成品率;同时划伤、磨损后的减反射膜会大大影响电池片的吸光率、降低了电池的转换效率,因此必须在最后一道工序加工前对电池硅片表面的灰尘进行及时的清除。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种电池硅片自动除尘机构。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:一种电池硅片自动除尘机构,包括电池硅片输送机,所述电池硅片输送机上方设有自动吸附机,所述自动吸附机底部设有四个吸盘,所述吸盘中间设有吸尘管,所述吸盘顶部设有自动伸缩机,所述自动伸缩机一侧设有吸尘管道,所述自动伸缩机另一侧设有吸气管道,所述吸尘管道上设有固定卡,所述自动吸附机上方设有水平移动电机,所述自动吸附机一侧连接支撑架,所述支撑架上设有移动轨道,且移动轨道活动连接水平移动电机,所述电池硅片输送机一侧设有电池硅片临时存放箱,所述电池硅片输送机与电池硅片临时存放箱之间设有吹气管,所述电池硅片临时存放箱内设有缓冲挡板。
优选的,所述电池硅片临时存放箱与缓冲挡板连接处设有复位弹簧卡。
优选的,所述吸尘管道与吸尘盘相连通。
优选的,所述吸盘与吸气管道相连通。
优选的,所述吸尘管道、吸气管上均设有电磁阀。
本实用新型的有益效果是:在吸附电池硅片过程中吸尘盘辅助提供吸力,使吸附更稳定,同时在运输过程中完成对电池硅片两面上的灰尘杂物进行清理,结构简单,除尘效果好,避免了人工的再次清理,节省了劳动力。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。
图1是本实用新型一种电池硅片自动除尘机构正面结构图。
图中标号:1、电池硅片输送机;2、自动吸附机;3、吸盘;4、吸尘盘;5、自动伸缩机;6、吸尘管道;7、吸气管道;8、固定卡;9、水平移动电机;10、支撑架;11、移动轨道;12、电池硅片临时存放箱;13、吹气管;14、缓冲挡板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏晶鼎电子材料有限公司,未经江苏晶鼎电子材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201621409626.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的