[实用新型]一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置有效

专利信息
申请号: 201621409627.3 申请日: 2016-12-21
公开(公告)号: CN206270284U 公开(公告)日: 2017-06-20
发明(设计)人: 王晓丽;景欢旺;吕海军;高超;项望 申请(专利权)人: 江苏晶鼎电子材料有限公司
主分类号: G01N27/333 分类号: G01N27/333
代理公司: 北京市领专知识产权代理有限公司11590 代理人: 林辉轮
地址: 223700 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 清洗 机用水点 水质 监控 报警装置
【权利要求书】:

1.一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置,包括水质监测仪外壳体(3),其特征在于:所述水质监测仪外壳体(3)的前表面上设置有数字显示屏(2),且水质监测仪外壳体(3)前表面上靠近数字显示屏(2)的下方位置处设置有报警器(13),所述水质监测仪外壳体(3)的底部设置有第一连接头(12)和第二连接头(11),所述第一连接头(12)远离水质监测仪外壳体(3)的一端设置有第一连接线保护皮管(1),所述第一连接线保护皮管(1)远离第一连接头(12)的一端设置有第一水质监测笔壳体(15),所述第一水质监测笔壳体(15)靠近第一连接线保护皮管(1)的一端设置有第一水质监测笔盖(16),且第一水质监测笔壳体(15)远离第一连接线保护皮管(1)的一端设置有第一水质监测电极(14),所述第二连接头(11)远离水质监测仪外壳体(3)的一端设置有第二连接线保护皮管(10),所述第二连接线保护皮管(10)远离第二连接头(11)的一端设置有第二水质监测笔壳体(5),所述第二水质监测笔壳体(5)靠近第二连接线保护皮管(10)的一端设置有第二水质监测笔盖(4),且第二水质监测笔壳体(5)远离第二水质监测笔盖(4)的一端设置有第二水质监测电极(6),所述第二水质监测电极(6)与U型管(8)的一端固定连接,所述U型管(8)的后方设置有U型管底座(7),且U型管(8)的中间位置处设置有刻度线(9),所述第二水质监测电极(6)、第二连接头(11)、第一连接头(12)、报警器(13)和第一水质监测电极(14)均与数字显示屏(2)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置,其特征在于:所述U型管底座(7)与硅片清洗机外壁通过螺栓固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置,其特征在于:所述U型管(8)与U型管底座(7)通过螺栓和固定片固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置,其特征在于:所述水质监测仪外壳体(3)的后方设置有真空吸盘(17)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置,其特征在于:所述U型管(8)的一端与硅片清洗机用水点通过管道固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置,其特征在于:所述水质监测仪外壳体(3)与硅片清洗机外壁通过真空吸盘(17)固定连接。

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