[实用新型]一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置有效
申请号: | 201621409627.3 | 申请日: | 2016-12-21 |
公开(公告)号: | CN206270284U | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 王晓丽;景欢旺;吕海军;高超;项望 | 申请(专利权)人: | 江苏晶鼎电子材料有限公司 |
主分类号: | G01N27/333 | 分类号: | G01N27/333 |
代理公司: | 北京市领专知识产权代理有限公司11590 | 代理人: | 林辉轮 |
地址: | 223700 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 清洗 机用水点 水质 监控 报警装置 | ||
1.一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置,包括水质监测仪外壳体(3),其特征在于:所述水质监测仪外壳体(3)的前表面上设置有数字显示屏(2),且水质监测仪外壳体(3)前表面上靠近数字显示屏(2)的下方位置处设置有报警器(13),所述水质监测仪外壳体(3)的底部设置有第一连接头(12)和第二连接头(11),所述第一连接头(12)远离水质监测仪外壳体(3)的一端设置有第一连接线保护皮管(1),所述第一连接线保护皮管(1)远离第一连接头(12)的一端设置有第一水质监测笔壳体(15),所述第一水质监测笔壳体(15)靠近第一连接线保护皮管(1)的一端设置有第一水质监测笔盖(16),且第一水质监测笔壳体(15)远离第一连接线保护皮管(1)的一端设置有第一水质监测电极(14),所述第二连接头(11)远离水质监测仪外壳体(3)的一端设置有第二连接线保护皮管(10),所述第二连接线保护皮管(10)远离第二连接头(11)的一端设置有第二水质监测笔壳体(5),所述第二水质监测笔壳体(5)靠近第二连接线保护皮管(10)的一端设置有第二水质监测笔盖(4),且第二水质监测笔壳体(5)远离第二水质监测笔盖(4)的一端设置有第二水质监测电极(6),所述第二水质监测电极(6)与U型管(8)的一端固定连接,所述U型管(8)的后方设置有U型管底座(7),且U型管(8)的中间位置处设置有刻度线(9),所述第二水质监测电极(6)、第二连接头(11)、第一连接头(12)、报警器(13)和第一水质监测电极(14)均与数字显示屏(2)电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置,其特征在于:所述U型管底座(7)与硅片清洗机外壁通过螺栓固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置,其特征在于:所述U型管(8)与U型管底座(7)通过螺栓和固定片固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置,其特征在于:所述水质监测仪外壳体(3)的后方设置有真空吸盘(17)。
5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置,其特征在于:所述U型管(8)的一端与硅片清洗机用水点通过管道固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置,其特征在于:所述水质监测仪外壳体(3)与硅片清洗机外壁通过真空吸盘(17)固定连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏晶鼎电子材料有限公司,未经江苏晶鼎电子材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201621409627.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。