[实用新型]一种改进的中频感应加热设备

权利要求书

1.一种改进的中频感应加热设备，包括真空炉壳体(6)、感应线圈(8)、保温隔热层(9)、石墨坩埚(10)、收集器、炉盖(15)、水冷系统(14)、中频电源(4)、中频馈电装置(5)、抽真空系统、测温系统，其特征在于，所述的真空炉壳体(6)的中心轴线与真空炉壳体(6)的安装地面的夹角为1～10°；位于石墨坩埚(10)的中心轴线下部的石墨坩埚(10)的至少开口端侧设有石墨挡板(11)；在石墨坩埚(10)的开口端的端面上罩设有收集器(12)，所述的收集器(12)呈圆台筒形，且与石墨坩埚(10)连接处的收集器(12)的开口端的直径大于收集器的尾端的直径。

2.如权利要求1所述的一种改进的中频感应加热设备，其特征在于：所述的收集器(12)的尾端的端面上设有孔，孔的半径为2～5cm；孔上可拆卸式连接一覆盖住孔的孔盖板。

3.如权利要求1或2所述的一种改进的中频感应加热设备，其特征在于：所述的收集器(12)的开口端的端面上设有与石墨坩埚(10)连接用的法兰边。

4.如权利要求1所述的一种改进的中频感应加热设备，其特征在于：所述的石墨挡板(11)设在石墨坩埚(10)的下半部内壁的近开口端处；或者所述的石墨挡板(11)分别设在石墨坩埚(10)的下半部内壁的近开口端处及石墨坩埚(10)的下半部内壁上位于X轴向的中部处。

5.如权利要求4所述的一种改进的中频感应加热设备，其特征在于：所述的石墨坩埚(10)的开口端处的石墨挡板(11)的高度为石墨坩埚(10)内径的1/2或1/3或1/4；石墨坩埚(10)的下半部内壁上位于X轴向的中部处的石墨挡板(11)的高度为石墨坩埚(10)内径的1/5。

6.如权利要求1所述的一种改进的中频感应加热设备，其特征在于：

所述的炉盖(15)活动连接一炉盖推车(13)；

所述的炉盖推车(13)包括一底部设有滑轮的平板(13-1)，平板(13-1)的一端旋转连接一主推杆(13-2)的底端，主推杆(13-2)的上部沿主推杆的长度方向设有腰形孔，一销柱的一端滑动连接在腰形孔内，销柱的另一端旋转连接炉盖(15)的外侧壁的中上部；平板(13-1)的另一端旋转连接一从动推杆(13-3)的底端，在动推杆(13-3)的上部沿从动推杆(13-3)的长度方向设另一腰形孔，另一销柱的一端滑动连接在另一腰形孔内，另一销柱的另一端旋转连接炉盖(15)的外侧壁的底部近真空炉壳体(6)侧；

所述的炉盖推车(13)的底部设有轨道。

7.如权利要求1所述的一种改进的中频感应加热设备，其特征在于：所述的抽真空系统为采用管道依次连接的机械泵(1)、罗茨泵(2)、扩散泵(3)；所述的扩散泵(3)的进口端连接真空炉壳体(6)的排气口。

8.如权利要求1所述的一种改进的中频感应加热设备，其特征在于：所述的中频电源(4)的电源控制器采用不控整流电路来控制，中频电源(4)的电源控制器输出恒电流和恒功率，电源控制器的控制的电源工作频率为2000～2800Hz；所述的电源控制器通过远程通讯来读写控制器内的参数及控制运行状态。

9.如权利要求1所述的一种改进的中频感应加热设备，其特征在于：所述的测温系统采用测温电偶(7)的两个输出端分别连接PID温控表所构成，测温电偶(7)的两个侧温点分别设在石墨坩埚的中部及开口端处；所述的测温电偶(7)采用钨铼热偶。

10.如权利要求1所述的一种改进的中频感应加热设备，其特征在于：所述的收集器(12)采用沿收集器中心轴线对称的两片拼合组装而成。