[实用新型]一种用于晶圆的测试系统

权利要求书

1.一种用于晶圆的测试系统，其特征在于，包括：

测试仪，所述测试仪用于对所述晶圆进行第一测试；

第一继电模块，所述第一继电模块用于连接在所述测试仪和所述晶圆之间，所述第一继电模块用于接收所述测试仪输出的第一通断信号；

单片机，所述单片机接收所述测试仪的启动信号，所述单片机通过加密算法对所述晶圆进行第二测试；

第二继电模块，所述第二继电模块用于连接在所述单片机和所述晶圆之间，所述第二继电模块用于接收所述测试仪输出的第二通断信号；

第三继电模块，所述第三继电模块连接在所述测试仪和所述单片机之间，所述第三继电模块接收所述测试仪输出的第三通断信号。

2.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于：

所述测试系统还包括接口模块，所述测试仪通过所述接口模块与所述单片机连接，所述单片机通过所述接口模块与所述晶圆连接。

3.根据权利要求2所述的测试系统，其特征在于：

所述接口模块包括芯片接口、测试模块组、单片机接口和测试仪接口，所述芯片接口用于与所述晶圆的芯片连接，所述测试模块组连接在所述单片机接口和所述芯片接口之间，所述单片机接口与所述测试仪接口连接，所述单片机接口用于与所述单片机连接，所述测试仪接口用于与所述测试仪连接。

4.根据权利要求3所述的测试系统，其特征在于：

所述芯片接口具有两个，所述测试模块组具有八个，所述单片机接口具有八个，所述测试仪接口具有两个，每四个所述测试模块组与一个所述芯片接口连接，每一个所述测试模块组与一个所述单片机接口，每四个所述单片机接口与一个所述测试仪接口连接。

5.根据权利要求4所述的测试系统，其特征在于：

所述测试模块组包括五个测试模块，所述测试模块并联地连接在所述芯片接口和所述单片机接口之间。

6.根据权利要求5所述的测试系统，其特征在于：

所述测试模块和所述单片机接口沿直线布置。