[实用新型]一种用于晶圆测试的通讯检测装置有效
申请号: | 201621415343.5 | 申请日: | 2016-12-21 |
公开(公告)号: | CN206292360U | 公开(公告)日: | 2017-06-30 |
发明(设计)人: | 吴俊;袁志伟 | 申请(专利权)人: | 珠海市中芯集成电路有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 珠海智专专利商标代理有限公司44262 | 代理人: | 黄国豪 |
地址: | 519000 广东省珠海市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 测试 通讯 检测 装置 | ||
1.一种用于晶圆测试的通讯检测装置,包括基板,其特征在于,所述基板上设置有:
处理模块;
TTL通讯模块,所述处理模块通过所述TTL通讯模块可向测试仪输出第一测试信号,所述处理模块通过所述TTL通讯模块可向探针台输出第二测试信号;
线缆检测模块,所述线缆检测模块向所述TTL通讯模块输出线缆检测信号;
LED显示模块,所述LED显示模块根据所述线缆检测信号显示;
按键选择模块,所述按键选择模块可向所述处理模块输出测试仪检测信号或探针台检测信号。
2.根据权利要求1所述的通讯检测装置,其特征在于:
所述线缆检测模块包括分频器、控制译码器和八个测试译码器,所述分频器向所述控制译码器输出控制信号,所述分频器分别向所述测试译码器输出测试信号,所述控制译码器分别向所述测试译码器输出使能信号。
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