[实用新型]一种用于晶圆的贴膜装置和撕膜装置

权利要求书

1.一种用于晶圆的贴膜装置，包括基座和上盖，所述上盖可旋转地打开和盖合在所述基座上，其特征在于：

所述贴膜装置还包括工作台、圆盘、滚轮机构和切割机构；

所述工作台安装在所述基座上，所述工作台为圆形的多孔结构陶瓷托盘，所述陶瓷托盘用于承载晶圆；

所述滚轮机构设有滚轮，所述滚轮位于所述陶瓷托盘的上方并沿所述陶瓷托盘的直径方向移动；

所述上盖在朝向所述陶瓷托盘位置设有圆通孔，所述圆盘覆盖在所述圆通孔上，所述切割机构安装在所述圆盘上；

所述切割机构设有切割刀和旋转手柄，所述切割刀位于所述圆盘在朝向所述陶瓷托盘方向，所述旋转手柄设置在所述圆盘的圆周上，所述旋转手柄与所述切割刀位于所述圆盘的同一半径方向上，所述旋转手柄用于控制所述圆盘的旋转。

2.根据权利要求1所述贴膜装置，其特征在于：

所述基座内设置有导向杆，所述滚轮机构还包括移动杆和两个连杆，两个所述连杆的第一端分别与所述滚轮的两端连接，所述滚轮在所述连杆上朝向或远离所述陶瓷托盘移动，两个所述连杆的第二端分别与所述移动杆的两端连接，所述移动杆可沿所述陶瓷托盘的直径方向移动地套在所述导向杆上。

3.根据权利要求2所述贴膜装置，其特征在于：

所述切割机构还包括调节手柄、移动块和调节杆，所述调节手柄可控制所述移动块沿所述圆盘的半径方向移动，所述调节杆朝向或远离所述圆盘移动地贯穿在所述移动块和所述圆盘上，所述调节杆的尾端位于所述圆盘在朝向所述陶瓷托盘的内侧，所述切割刀与所述调节杆的尾端连接。

4.一种用于晶圆的贴膜装置，包括基座和上盖，所述上盖可旋转地打开和盖合在所述基座上，其特征在于：

所述贴膜装置还包括工作台、滚轮机构和切割机构；

所述工作台安装在所述基座上，所述工作台为圆形的多孔结构陶瓷托盘，所述陶瓷托盘用于承载晶圆；

所述滚轮机构设有滚轮，所述滚轮位于所述陶瓷托盘的上方并沿所述陶瓷托盘的直径方向移动；

所述上盖在朝向所述陶瓷托盘位置设有圆通孔，所述切割机构包括切割刀、支撑部和旋转部，所述支撑部安装在所述上盖上，所述旋转部与所述支撑部连接并位于所述圆通孔的圆心，所述旋转部绕所述圆通孔的轴线旋转，所述切割刀与所述旋转部连接并朝所述陶瓷托盘方向延伸。

5.根据权利要求4所述贴膜装置，其特征在于：

所述支撑部为三点支撑架，所述支撑部的支撑点围绕所述圆通孔的圆周均匀的布置。

6.一种用于晶圆的撕膜装置，包括固定座，其特征在于：

所述撕膜装置还包括第一夹具、第二夹具、工作台和滚轮机构；

所述第一夹具和所述第二夹具分别安装在所述固定座上，所述第一夹具套在所述第二夹具的外侧，所述第一夹具和所述第二夹具分别用于限位不同大小规格的晶圆；

所述第二夹具套在所述工作台的外侧，所述工作台为圆形的多孔结构陶瓷托盘，所述陶瓷托盘用于承载所述晶圆；

所述滚轮机构设有滚轮，所述滚轮位于所述陶瓷托盘的上方并沿所述陶瓷托盘的直径方向移动。

7.根据权利要求6所述撕膜装置，其特征在于：

所述固定座的两侧分别开设有通孔，所述固定座的两侧盖分别设置有滑轨，所述滚轮机构还包括两个连接件，两个所述连接件的第一端分别连接所述滚轮的两端，两个所述连接件的第二端分别贯穿所述通孔并与所述滑轨可移动地配合。

8.根据权利要求7所述撕膜装置，其特征在于：

所述第一夹具和所述第二夹具分别设置有限位组件，所述限位组件在朝向所述滚轮的移动方向设置。