[实用新型]霍尔离子源有效
| 申请号： | 201621417962.8 | 申请日： | 2016-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN206271656U | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 秦雪梅,刘静 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火炬*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 霍尔 离子源 | ||
1.一种霍尔离子源，其特征在于，包括：
底部和四周封闭、上部设置有开口的中空壳体；
固定在所述壳体上的开口的对应位置的阴极；
在所述壳体内与所述阴极相对设置的阳极，所述阳极设置有与所述壳体的开口对应的阳极口；
设置在所述壳体内位于所述阳极下方的电磁铁；
以及设置在所述壳体内的气体输入管道。
2.根据权利要求1所述的霍尔离子源，其特征在于，所述壳体内还设置有导流板，所述导流板位于所述阳极的下方，所述导流板连接所述气体输入管道。
3.根据权利要求2所述的霍尔离子源，其特征在于，所述壳体内还设置有绝缘支撑平台，所述阳极设置在所述绝缘支撑平台靠近所述壳体的开口的一侧；所述电磁铁设置在所述绝缘支撑平台远离所述开口的一侧。
4.根据权利要求3所述的霍尔离子源，其特征在于，所述绝缘支撑平台设置有连接所述气体输入管道的通孔，所述导流板设置在所述绝缘支撑平台上。
5.根据权利要求1所述的霍尔离子源，其特征在于，所述阴极为灯丝阴极、中空阴极或等离子桥阴极中的任意一种。
6.根据权利要求1所述的霍尔离子源，其特征在于，所述阳极采用不绣钢材料或非导磁材料制成。
7.根据权利要求1所述的霍尔离子源，其特征在于，所述壳体外设置与所述电磁铁和所述阳极连接的接线端子，用于连接电源。
8.根据权利要求1所述的霍尔离子源，其特征在于，所述阴极的两端分别用于连接交流电源的两极并且接入负极偏压，所述阳极用于连接直流电源的正极；所述电磁铁的N极和S极分别用于连接直流电源的负极和正极。
9.根据权利要求1所述的霍尔离子源，其特征在于，所述壳体采用导磁材料制成。
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