[实用新型]一种半导体设备的多头独立真空吸取机械手

说明书

技术领域

本发明涉及机械手领域，尤其涉及一种用于半导体设备的多头独立真空吸取机械手。

背景技术

半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。

在很多半导体设备中，都需要通过真空机械手将芯片吸取后再搬送至指定的不同位置，由于机械手上下运动吸取芯片的时间比搬送芯片至指定位置的时间要短很多，因此若要提高机器的产能，就需要一种结构紧凑且多头可以独立吸取的真空机械手。

发明内容

本发明的目的是解决现有技术的不足，提供一种结构紧凑、多头独立工作的真空吸取机械手，每个吸盘的上下动作和真空吸取动作都可以单独控制，因此能分次吸取多个产品后再逐个放在不同的指定位置，从而起到提高机器产能的作用。

本发明采用的技术方案是：一种半导体设备的多头独立真空吸取机械手，包括底座，所述底座的中部固接电机安装板，所述电机安装板上固接有若干个电机，电机的转轴上设有齿轮，所述齿轮的两侧分别设有与其相啮合的圆齿条，所述齿轮和圆齿条位于底座内；所述圆齿条的上下两端为光轴导向端，分别设有直线轴承，所述圆齿条的顶端固接有气管固定块，底端固接有吸盘固定块，所述气管固定块和吸盘固定块分别位于底座的两端；所述吸盘固定块的两端分别设有导向轴和圆齿条，导向轴和圆齿条的配合精确定位吸盘固定块的位置，所述导向轴位于底座内，所述吸盘固定块的侧边设有吸盘安装杆，所述吸盘安装杆上固接有吸盘。

作为本发明的进一步改进，所述导向轴的底端为光轴导向端，设有直线轴承。

作为本发明的进一步改进，所述电机的数量为4～8个。

本发明采用的有益效果是：本结构的多头独立真空吸取机械手，通过齿轮和圆齿条的啮合，将电机的旋转运动转换为圆齿条的上下直线运动，从而驱动吸盘的上下运动。配合真空吸取，达到分次吸取多个产品再逐个放在不同的指定位置，有效的提高工作效率。本发明控制精准，使用方便，定位准确，极大的提高了工作产能。

附图说明

图1为本发明示意图。

图2为本发明侧视图。

图中所示：1 底座，2 电机安装板，3 电机，4 齿轮，5 圆齿条，6 气管固定块，7 吸盘固定块，8 吸盘安装杆，9 吸盘，10 直线轴承，11 导向轴。

具体实施方式

下面结合图1和图2，对本发明做进一步的说明。

如图所示，一种半导体设备的多头独立真空吸取机械手，包括底座1，所述底座1的中部固接电机安装板2，所述电机安装板2上固接有若干个电机3，电机的转轴上设有齿轮4，所述齿轮4的两侧分别设有与其相啮合的圆齿条5，所述齿轮4和圆齿条5位于底座1内；所述圆齿条5的上下两端为光轴导向端，分别设有直线轴承10，所述圆齿条5的顶端固接有气管固定块6，底端固接有吸盘固定块7，所述气管固定块6和吸盘固定块7分别位于底座1的两端；所述吸盘固定块7的两端分别设有导向轴11和圆齿条5，导向轴11和圆齿条6的配合精确定位吸盘固定块7的位置，所述导向轴11位于底座1内，所述吸盘固定块7的侧边设有吸盘安装杆8，所述吸盘安装杆8上固接有吸盘9。

圆齿条、齿轮和导向轴都位于底座内，有效确保了整个机械手不会因外物侵入而停止工作和影响工作精度。圆齿条和导向轴为别位于吸盘固定块的两侧，相互配合精确定位吸盘固定块的位置，吸盘固定块的位置能够精准定位，固接其上的吸盘就能精准定位。每个电机的转轴上设有1个齿轮，齿轮的两侧分别连接有圆齿条，通过电机的正反转运动，驱动圆齿条运动，从而带动吸盘做交替的上下运动，同时通过控制电机的转动角度就可以调整吸盘上下的位移量。从而确保每个吸盘的上下动作和真空吸取动作都可以单独控制，因此能分次吸取多个产品后再逐个放在不同的指定位置，从而起到提高机器产能的作用。

为进一步提高吸盘的精准定位，所述导向轴11的底端为光轴导向端，设有直线轴承，直线轴承来实现精密直线运动。

为进一步提高整个设备的工作效率，增加产能，所述电机的数量为4～8个。

为进一步加深理解，特选取实施例做进一步描述。