[实用新型]一种基板输送装置

权利要求书

1.一种基板输送装置，其特征在于，包括：

输送平台；

悬浮组件，所述悬浮组件用于向承载于所述输送平台上的基板作用一个向上的浮力，以使所述基板悬浮于所述输送平台的上方；

牵引装置，所述牵引装置用于牵引所述基板在所述输送平台上沿预设路径悬浮移动。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，所述悬浮组件包括多个吹气孔组、多个供气装置以及检测控制单元，多个所述吹气孔组沿所述预设路径的延伸方向均匀设置于所述输送平台上，多个所述供气装置与多个所述吹气孔组连接，所述供气装置用于向所述供气装置连接的所述吹气孔组提供气体，所述检测控制单元用于检测所述基板的当前位置，并根据所述基板的当前位置，控制多个所述供气装置启动或关闭。

3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，所述吹气孔组包括多个吹气孔，多个所述吹气孔沿垂直于所述预设路径的方向均匀设置。

4.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，所述供气装置包括第一缓冲腔体和送气结构，所述第一缓冲腔体与所述吹气孔组连通，所述送气结构用于向所述第一缓冲腔体内输送气体。

5.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，所述牵引装置包括滑轨、滑块、安装板以及驱动件，所述滑轨与所述输送平台相对固定，所述滑轨的延伸方向与所述预设路径的延伸方向一致，所述滑块与所述滑轨滑动连接，所述安装板固定于所述滑块上，且所述安装板与所述基板连接，所述驱动件用于驱动所述滑块沿所述滑轨滑动，以带动所述基板在所述输送平台上沿所述预设路径移动。

6.根据权利要求5所述的基板输送装置，其特征在于，所述驱动件为直线马达，所述直线马达的定子与所述滑轨相对固定，所述直线马达的动子与所述滑块相对固定。

7.根据权利要求5所述的基板输送装置，其特征在于，所述安装板上设有真空吸附结构，所述安装板通过所述真空吸附结构与所述基板连接。

8.根据权利要求7所述的基板输送装置，其特征在于，所述真空吸附结构包括真空吸附孔、第二缓冲腔体以及抽真空装置，所述真空吸附孔设置于所述安装板上用于连接所述基板的表面，所述第二缓冲腔体与所述真空吸附孔连通，所述抽真空装置用于抽取所述第二缓冲腔体内的气体。

9.根据权利要求8所述的基板输送装置，其特征在于，所述真空吸附孔为多个，多个所述真空吸附孔均匀设置于所述安装板上用于连接所述基板的表面。