[实用新型]一种多码道光栅尺及测量设备

权利要求书

1.一种多码道光栅尺，其特征在于，包括第一光栅码道、第二光栅码道、线性渐变滤光片码道、两个光栅读数头以及渐变片读数头，所述第一光栅码道、所述第二光栅码道与所述线性渐变滤光片码道相互平行并列，所述两个光栅读数头对应于所述第一光栅码道和所述第二光栅码道而设置，所述渐变片读数头对应于所述线性渐变滤光片码道而设置，所述第一光栅码道、所述第二光栅码道和所述线性渐变滤光片码道设置成沿长度方向水平移动，所述两个光栅读数头和所述渐变片读数头保持固定，并分别使用波长为λ的激光对所述第一光栅码道、所述第二光栅码道和所述线性渐变滤光片码道进行探测，其中所述光栅读数头获取光栅尺的位移-干涉相位信息，所述渐变片读数头获取所述渐变片的位移-反射光强度信息。

2.根据权利要求1所述的光栅尺，其特征在于，所述第一光栅码道和所述第二光栅码道为一维反射式光栅，光栅周期分别λ₁和λ₂，两光栅周期具有恒定的光栅周期差。

3.根据权利要求1所述的光栅尺，其特征在于，所述线性渐变滤光片码道包括相贴合设置的反射镜和线性滤光片，所述反射镜的反射率与沿长度方向的位置呈确定的线性关系。

4.根据权利要求1至3任一项所述的光栅尺，其特征在于，所述光栅读数头为干涉式光栅尺读数头。

5.一种多码道光栅尺测量设备，其特征在于，包括根据权利要求1至4任一项所述的光栅尺以及数据处理计算机，所述数据处理计算机用于对所述光栅读数头和所述渐变片读数头获取的信息进行处理以实现绝对位移的测量。