[实用新型]一种反射式同轴结构激光诱导击穿光谱分析装置

权利要求书

1.一种反射式同轴结构激光诱导击穿光谱分析装置，包括激光器（2）、载物台（8）和光谱仪（12）；所述激光器（2）与所述光谱仪（12）信号连接；所述激光器（2）出射的激发光沿激发光路聚焦于所述载物台（8）放置的待测样品（9）表面，所述待测样品（9）发出的信号光沿信号光路返回并导入所述光谱仪（12）；其特征在于：

所述装置还包括分束单元和第一离轴抛物面镜（7）；所述激发光和信号光在所述分束单元与所述待测样品（9）之间光路同轴且传播方向相反；自所述分束单元出射的准直的激发光经第一离轴抛物面镜（7）反射后可聚焦于所述待测样品（9）表面，所述信号光经第一离轴抛物面镜（7）反射后准直入射所述分束单元；自所述分束单元出射的信号光与激发光分束。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括主机（1），所述主机（1）分别连接所述激光器（2）和光谱仪（12），所述激光器（2）和光谱仪（12）通过所述主机（1）实现互连。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括连接所述光谱仪（12）的光纤（11），自所述分束单元出射的信号光聚焦并耦合入所述光纤（11），所述光纤（11）将耦合的所述信号光导入所述光谱仪（12）。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激光器（2）为Nd:YAG脉冲激光器，所述激发光波长为1064nm，所述信号光波长200~800nm。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激光器（2）和所述分束单元之间的所述激发光路中设置有激光扩束镜（3）。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激光器（2）和所述分束单元之间所述激发光路中设置用于偏转光路的光束偏转单元。

7.根据权利要求1至6任一项所述的装置，其特征在于，所述分束单元为二向色镜（6）或带孔的平面反射镜（13）；所述二向色镜（6）将入射的所述激发光与信号光分束；所述激发光从所述带孔的平面反射镜（13）的通孔中穿过，沿信号光路返回的所述信号光在通孔之外的反射面反射。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述装置还包括第二离轴抛物面镜（10），所述第二离轴抛物面镜（10）将自所述分束单元出射的准直的信号光反射聚焦并导入所述光谱仪（12）。

9.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述二向色镜（6）对所述激发光高反且对所述信号光高透，或对所述激发光高透且对所述信号光高反。

10.根据权利要求1至6任一项所述的装置，其特征在于，所述分束单元为带孔的离轴抛物面镜（14）；所述激发光从所述带孔的离轴抛物面镜（14）的通孔中穿过，沿信号光路返回的所述信号光在通孔之外的反射面反射聚焦并导入所述光谱仪（12）。