[实用新型]一种通用掩模夹具有效
| 申请号： | 201621445366.0 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN206363076U | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 刘维维;华卫群;沙云峰 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/687 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 康潇 |
| 地址： | 214135 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 通用 夹具 | ||
【权利要求书】：
1.一种通用掩模夹具，包括掩模夹具专用工作台(1),其特征在于：所述掩模夹具专用工作台(1)的边缘位置处安装有边框(3)，所述边框(3)的内侧安装有掩模夹具(15)，所述掩模夹具(15)的中间位置安装有伸缩套(4)，且伸缩套(4)与边框(3)通过第一伸缩杆(5)连接，所述伸缩套(4)的上方安装有把手(6)，且把手(6)与伸缩套(4)通过连接螺栓(9)固定连接，所述伸缩套(4)的两侧安装有第二伸缩杆(8)，所述第二伸缩杆(8)的一端安装有固定架(11)，所述固定架(11)的上方安装有连接固定板(2)，且连接固定板(2)与边框(3)的内侧通过嵌入孔(10)镶嵌安装，所述固定架(11)的底部安装有第三伸缩杆(13)，所述第三伸缩杆(13)的底部安装有吸盘(14)，所述掩模夹具专用工作台(1)的中间位置处设置有掩模放置槽(7)。
2.如权利要求1所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述掩模夹具(15)共设置有四个，且四个掩模夹具(15)分别安装在边框(3)四条边的内侧，且每两个掩模夹具(15)相互对称。
3.根据权利要求1所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述掩模放置槽(7)为网状结构。
4.根据权利要求1所述的一种通用掩模夹具，其特征在于：所述吸盘(14)与掩模夹具专用工作台(1)之间设置有间隙。
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